中古 CANON / ANELVA ILD 4032 #9390492 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4032は、アッシャーとも呼ばれるドライエッチャーの一種です。この機械はパターンか形を基質にエッチングするのに使用されています。これは、複雑な加工またはエッチング用途に一般的に使用される減算プロセスを使用して動作し、伝統的な機械的ドリルまたはフライス加工よりも優れた解像度を与えます。CANON ILD 4032は、高圧RF源を駆動し、クローズドループのプロセス制御システムを使用して精密なエッチング制御を行います。ANELVA ILD 4032はコンパクトなデザインで軽量で、実験室や生産環境にも適しています。ロードロックチャンバーと耐薬品性ソリッドステートターゲットホルダーを内蔵しており、オートロードまたは手動で操作できます。さらに、ILD 4032は、ガラス、シリコン、GaAs、ポリイミド、その他のポリマーなど、さまざまな基板を柔軟に使用できます。キヤノン/ANELVA ILD 4032は、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング処理を使用しています。このプロセスは、作業領域の上にあるコイルにRF信号を適用し、エッチングに利用されているガスに誘導電場を作成することで構成されています。この誘導結合プラズマにより、エッチング処理の制御が容易になり、エッチング機能の品質が向上します。性能面では、精密エッチング用途に適した0。3 µmまでの分解能を実現しています。また、最大6。25cm2 （3。1インチ）をカバーする大きなエッチング面積を備えているため、生産レベルのエッチングに適しています。ANELVA ILD 4032は、より高いエッチング率を必要とするアルミニウム、銅などの材料をエッチングできます。ILD 4032は、エッチング機能の他に、低電圧DC放電防止、アーク検出、O2モニタロックアウト機能などの安全機能を備えています。これらの機能は、ユーザーとマシンの両方を保護し、エッチングやその他のプロセスで安全な動作を提供します。要約すると、CANON/ANELVA ILD 4032は精密エッチング用途に最適です。コンパクトな設計、軽量な構造、耐薬品性の高いターゲットホルダーを備えているため、実験室と生産環境の両方に適しています。CANON ILD 4032は、誘導結合プラズマプロセスを採用し、制御性を高め、エッチング機能の高品質を実現しています。安全運転を実現する安全機能も搭載しています。