中古 CANON / ANELVA ILD 4032 #9257788 を販売中

CANON / ANELVA ILD 4032
ID: 9257788
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1991
Oxide dry etcher, 6" 1991 vintage.
キヤノン/ANELVA ILD 4032は、高精度・高精度の高品質エッチング・アッシュ半導体デバイスの製造用に設計された最先端のエッチャーおよびアッシャーです。電子回路に高精度な微細パターンを作成するために使用されるフィルムエッチャーとアッシャーです。CANON ILD 4032は、狭いスペースに収まるコンパクトなデザインで、多くの半導体アプリケーションにとって魅力的なツールとなる幅広い機能を提供しています。ANELVA ILD 4032は、シリコンウェーハやその他の基板のエッチングとアッシングのための幅広い加工方法を提供しています。ガスシールド、高精度、エッチング、アッシング、パターニング用のダイオードレーザーソースを備えています。また、調整可能な圧力エッチング装置、可変ガス圧力制御、調整可能なエッチング速度、およびユーザーがさまざまなプロセス設定を制御および保存できる制御システムを備えています。ILD 4032はまた、優れた解像度と位置精度を可能にする強化された光学ユニットを備えています。精密エッチングと高感度な基板へのアッシングを可能にし、複数の基板を同時に処理するように設計されています。また、加工時の熱による損傷からウェーハを保護する冷却モデルを内蔵しています。CANON/ANELVA ILD 4032は、お客様の特定のアプリケーションのニーズを満たすように設計されたカスタムエッチング手順も備えています。アルミニウム、マグネシウム、銅などのマスキング材料を幅広く取り揃えており、用途に応じたエッチングが可能です。また、CANON ILD 4032は、さまざまなフォトリソグラフィープロセスで使用することができ、エッチングのための可能なジオメトリの広い範囲を可能にします。ANELVA ILD 4032も安全性を念頭に設計されています。危険なレベルの圧力が検出された場合に自動ガスが遮断される、作業エリア周辺の十分な換気を確保するための換気装置、汚染物質を排除するためのフィルターのシステムなど、さまざまな安全機能が含まれています。最後に、ILD 4032は保守性とメンテナンスを念頭に置いて設計されています。標準部品と交換可能部品は、必要に応じて容易に入手可能であり、ユニットは最小限のメンテナンスのみを必要とするように設計されています。さらに、問題を迅速に診断するために幅広い診断ツールが利用可能であり、一貫した品質レベルを確保するために品質保証ステップが整っています。
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