中古 CANON / ANELVA ILD 4032 #9043724 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4032は、微細金属パターンや誘電性樹脂などの厚い有機・無機フィルムを高精度にエッチングするために設計されたエッチャー/アッシャーです。このタイプのエッチャーは、半導体製造、フォトリソグラフィ、3Dプリント、回路基板製造、LCDディスプレイ製造など、さまざまな業界で広く使用されています。CANON ILD 4032は、最大3mm/分のエッチングが可能な高密度イオンビームを提供する誘導結合プラズマエッチング技術を特長としています。各種圧力、温度、ガス供給制御を備えており、精密なエッチング工程制御が可能です。これらのシステムはまた、無線周波数発生器を介して給電される一連の外部電極を備えており、エッチング工程で使用される低圧プラズマ放電を作り出します。ANELVA ILD 4032は最大12インチまでのウェーハ加工が可能で、精密なエッチングアライメントとプラズマへの露出を可能にする4軸モーションコントロール装置を搭載しています。この装置は、最大0。001ミクロンの印象的な解像度と、27。6 "x17。7" x20。6"のチャンバーサイズを提供します。このユニットは、リモートコントロールユニット、真空機、およびその他のさまざまなチャンバー処理を含む、システムに追加できる多数のオプション機能を備えています。また、ドアロックツールなどの高度な安全機能や、さまざまな電気および空気の安全システムも含まれています。これは、エッチングプロセス中にオペレータを保護するだけでなく、関与する可能性のある液体を意図しています。ILD 4032は金属、樹脂および他の厚い有機および無機フィルムの精密なエッチングが可能な印象的なエッチング資産です。高度な安全機能を備えた高精度モデルや、最適化されたエッチングのためのさまざまな調整可能なパラメータを探している人に最適です。