中古 CANON ANELVA ILD 4032 #293747124 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4032は、さまざまな基板上のマイクロパターンを製造するためのドライアッシング/エッチング装置です。この精密機器は、サブミクロン精度範囲の微細な微細なマイクロパターンの製造用に設計されており、高解像度のエッチング/アッシング機能を備えています。このシステムの主な機能は、制御された環境での基板のエッチングとアッシングです。CANON ILD 4032は、取り外し可能なHDフィルムで構成されたチャンバーで、平面マグネトロン源とイオンビーム源の両方を備えています。平面マグネトロンソースは、真空チャンバーに囲まれた単一のマグネトロンターゲットで構成されており、さまざまな方法でエッチングと材料除去を可能にします。また、水平面に配置された50から150の石英マイクロチューブの配列からなる強力なイオンビーム源が含まれており、より高い圧力で動作することができます。ユニット全体を取り外し可能なHDフィルムで囲み、安定した汚染のない環境を提供します。さらに、ANELVA ILD 4032は包括的なリアルタイムエッチング監視機能と正確なパターン制御を備えています。圧力制御、基板温度監視、チャンバーの自動ゼロ化など、包括的なプログラム機能が含まれています。自動化された圧力制御モジュールは、信頼性と再現性の高い動作を可能にし、非常に小さいパターンから非常に大きなパターンへのエッチングに特に役立ちます。ILD 4032はさらに、標準的なスパッタエッチング技術よりも最大20倍高速の低ダメージエッチング機能を備えています。この低損傷エッチングにより、再現性と高精度エッチングが可能です。また、CANON/ANELVA ILD 4032では、薄膜エッチング時に隙間のないサブミクロン精度パターンの生成が可能です。CANON ILD 4032は、金属からポリマーまで幅広い素材に対応しています。最後に、ANELVA ILD 4032は、予期しない事故が発生した場合のフェイルセーフ操作など、さまざまな安全機能を提供します。詳細なユーザーマニュアルも含まれており、使用方法とメンテナンスに関する詳細な説明を提供しています。結論として、ILD 4032は、さまざまな材料で複雑で精密なパターンを生成することができる強力で正確なドライアッシング/エッチング機です。低ダメージエッチング機能とリアルタイム監視オプションを備えたこのツールは、精密エッチングと高い生産品質を提供します。キヤノン/ANELVA ILD 4032は、マイクロパターンのプロトタイピングと製造の両方に最適なツールです。