中古 CANON / ANELVA ILD 4015 #9390493 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4015はエッチャー/アッシャー（Vapor Etch Asher）で、研究開発中、製造実行前、または実験室試験のために試料にエッチングまたはエッチングします。この装置は、チャンバーの外から取り込まれた金属-有機ガスを加熱してプラズマを生成する装置です。得られたプラズマは、デバイス内の標本をエッチングまたはアッシャーするために使用されます。CANON ILD 4015は、金属、ポリマー、半導体など、さまざまな材料のエッチングとアッシングのための強力なツールです。ANELVA ILD 4015は、金属-有機ガスを加熱してエッチングおよびアッシング用のプラズマを作成する高度なフローティング電極技術（FET）アッシング原理を利用しています。浮遊電極はエッチングする材料とは異なる距離に配置され、プロセス中のプラズマの均一な分布を可能にします。FETシステムは、エッチングとアッシングの両方において卓越した均一性をもたらします。この技術により、ローカライズされた領域または選択的エッチングを達成することができます。ILD 4015には静電チャックが装備されており、アッシング前にウェーハを正確に配置することができます。200mm x 300mmまでの長方形の標本を扱うことができ、1バッチにつき最大5ユニットを処理することができます。また、キヤノン/ANELVA ILD 4015には強力な真空ポンプが搭載されており、3 x 10-6Paのベースバキュームを提供します。CANON ILD 4015はデジタルエッチャーです。オンボードマイクロプロセッサとユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスが付属しています。ディジタルディスプレイには、エッチングまたはアッシング処理中の圧力、温度、時間が表示され、プロセス条件とチャンバー雰囲気を正確に制御できます。結論として、ANELVA ILD 4015は、高度な技術と直感的なユーザーフレンドリーなコントロールを備えた高性能エッチャー/アッシャーです。様々な素材のエッチングとアッシングを効率的に行い、プロセスを正確に制御します。ILD 4015の汎用性と性能は、あらゆる研究または生産ラボにとって有用なツールです。