中古 CANON / ANELVA ILD 4015 #9257789 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4015は、産業用および研究用に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。基材に高精度で複雑なパターンを作成することができます。デュアル構成のエッチャー/アッシャーであり、エッチングまたはアッシングを主要な処理方法として使用することができます。CANON ILD 4015は、誘導結合プラズマ（ICP）チャンバーを使用して、基材をエッチングまたはアッシュする高温環境を作り出します。このチャンバーは、電子サイクロトロン共鳴（ECR）マグネトロンを内蔵しており、チャンバ内部のプラズマの温度と密度をさらに高め、精密なエッチング結果を保証します。ANELVA ILD 4015のエッチングおよびアッシング時間は、プロセスが非常に調整可能であるため、各アプリケーションの特定のニーズに合わせて調整することができます。最大加工面積は150mm×150mmで、形状やサイズの異なる基板に適しています。統合された真空システムにより、ILD 4015はエッチングおよびアッシングプロセス中に非常に一貫した圧力を維持できます。これにより、基材のエッチングがより均一になり、最終製品の品質が向上します。室温から900°Cまで幅広い温度で動作可能で、ウェハドーピング、3D構造化、表面改質など様々な工程に使用できます。キヤノン/ANELVA ILD 4015は、加速器制御、制御ガス導入、自動ガスシャットオフなど、さまざまな機能を提供しています。これらの機能は、エッチングおよびアッシング処理の精度をさらに高めるのに役立ち、最終結果をより正確に制御することができます。CANON ILD 4015は、産業用および研究用に設計された高精度のチューニングエッチャー/アッシャーです。ICPチャンバー、ECRマグネトロン、精密真空システムを内蔵しており、高精度かつ高効率なエッチングとアッシュ基材を実現しています。調節可能な温度範囲、加速器制御システム、制御されたガスの導入および自動シャットオフの特徴は機械の機能をさらに高め、それをさまざまな適用に非常に適したようにします。