中古 CANON / ANELVA ILD 4015 #9226110 を販売中

CANON / ANELVA ILD 4015
ID: 9226110
ウェーハサイズ: 6"
Oxide etcher, 6".
キヤノン/ANELVA ILD 4015は、最新の生産設備のニーズに合わせて設計された汎用性の高いエッチャーとアッシャーです。さまざまな産業プロセスで使用するための高品質のエッチングツールを製造しています。装置は大きい働くプラットホーム、高度の熱システムおよび直観的なグラフィカルインターフェイスを利用します。CANON ILD 4015は高精度エッチャー/アッシャーです。動作プラットフォームは400 x 250 mmで、最大フィールドサイズは400 x 250または300 x 300 mmです。平方形、平丸、小平形、長円形など、最大厚さ8mmまで幅広いワークに対応可能です。ワークテーブルはモーターを備えており、X、 Y、 Z軸で駆動できます。加速・減速速度は45m/min、可動速度は0。6m/minまでです。ANELVA ILD 4015は最大20 µm/minのエッチングが可能です。また、パルス幅、波長、繰り返し周波数、パルス持続時間など、さまざまなエッチングパラメータを提供し、お客様のニーズに応じてエッチングプロセスを調整します。さらに、レーザー安全装置が内蔵されており、人員を偶発的な暴露から守ることができます。ILD 4015には、ワークをアッシングするためのサーマルツールが装備されています。また、温度センサーを備えており、アッシング速度を正確に制御できます。最高800°Cの温度範囲を持ち、精密なプロセス制御のための統合されたPCベースのコントローラーが装備されています。CANON/ANELVA ILD 4015には直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)があり、操作が簡単です。資産に機械の現在の状態を示す複数の警告ライトがあり、顧客の必要性に従って設定の容易なカスタマイズを可能にします。このモデルは、リモート監視とメンテナンスのためにインターネットに接続することができます。CANON ILD 4015は、現代の工業生産のための強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。それに速い加速および減速の速度の大きい働くプラットホームがあり、20 µm/minの最高率とエッチングできます。このマシンには、アッシング速度を正確に制御する温度センサーも搭載されており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。装置は遠隔監視および維持のためのインターネットに接続することができます。ANELVA ILD 4015を使用すると、生産施設は高品質のツールを簡単に作成する責任を負うことができます。
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