中古 CANON / ANELVA ILD 4013 #293747123 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4013は、産業用に設計された精密エッチャー/アッシャーです。この機械は多機能の精密エッチャー/アッシャーであり、ガラス、セラミック、ポリマー、金属など、さまざまな材料をエッチングすることができます。それは堅い許容の高速、高精度のエッチングおよびashing操作のためにとりわけ設計されています。CANON ILD 4013は、最大1,000ワットの電力と140〜630°Cの温度動作範囲が可能なスパッタエッチングチャンバーを備えています。チャンバー長180mm、幅165mmの設計で、より大きな部品に対応しています。エッチングチャンバーには3つの20GHz静電レンズが装備されており、幅広い材料で優れた分解能とエッジ定義を提供します。また、低電圧乾燥機、20〜200°Cの間のノズル出口温度を備えており、エッチングと表面平面化を強化しています。ANELVA ILD-4013には、有機材料や無機材料を堆積させるための0。3 μ m分解能の精密沈殿システムが搭載されています。最大0。3mmの厚さと0。1 μ mの最小膜厚で材料を堆積することができます。精密沈殿システムにより、最大100：1の高アスペクト比も可能です。誘導結合プラズマエッチング技術を搭載し、最大10sccmのガス流量で高速エッチングを実現しています。また、圧力範囲制御、過圧安全弁、不活性ガス雰囲気、緊急遮断スイッチなど、多くの安全機能を備えています。また、エッチング作業による廃棄物を削減するため、化学回収システムで設計された環境にも優しい機械です。ILD-4013は非常に効率的で信頼性の高い精密エッチャー/アッシャーで、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に適しています。さまざまな素材を使用し、精密なエッジ定義と高解像度エッチング結果を実現するように設計されています。堅牢な構造と信頼性の高い性能を備えたILD 4013は、あらゆる産業用途に最適です。