中古 CANON / ANELVA ILD 4003T #9111750 を販売中
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CANON/ANELVA ILD 4003Tは半導体産業のための高精度、高速エッチャー/アッシャーです。各種エッチングやアッシングに使用できる多機能エッチャーです。高速かつ正確なエッチングとアッシング、高精度な水平方向と垂直方向のエッチングの広い領域を提供します。CANON ILD 4003Tは、高度なコンピュータ制御技術で構築され、エッチングパターンの高精度な性能と高いアスペクト比のトレンチや穴の均一なエッチングを可能にします。また、高速冷却装置と自動部品の積み下ろしを備えており、生産ラインを大幅にスピードアップし、迅速かつ正確なエッチングを可能にします。また、機械の耐久性を向上させ、それに関連するメンテナンスコストと修理コストを削減するための最小限の可動部品を備えています。この機械は、Si、 Ga、 SiO2、 Poly-Si、 TiN、 InGaAs、 InSbなどの幅広い材料のエッチングまたはアッシングに適しています。また、結晶、薄膜、基板、その他様々な材料の加工も可能です。ANELVA ILD 4003Tは操作が簡単で、優れた結果を出すことが容易なユーザーフレンドリーな制御システムを備えています。多機能なので、エッチングやアッシングにも適しています。また、圧力制御装置や緊急時の自動停止など、多くの安全機能も備えています。これにより、手動監視の必要性が低減され、オペレーターの安全性が確保されます。また、ILD 4003Tには、高速精密加工に適した高度な機能がいくつかあります。高速動作と高精度な制御ユニットにより、高精度で高速エッチングが可能です。また、エッチングと加工の広い領域をさらに印象的にしています。全体的に、CANON/ANELVA ILD 4003Tは、半導体産業のための高速、多機能エッチングとアッシングを提供しています。この機械は材料の広い範囲のために適していましたり、ユーザーフレンドリーな制御機械を持っていましたり、多数の安全特徴を特色にし、高度機能は最も速い時間の最もよい結果を得るのを助けます。
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