中古 CANON / ANELVA ILD 4003M #9111256 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4003Mエッチャー/アッシャーは、さまざまな産業用微細製造用途に適した高性能ドライエッチング装置です。シリコン、薄膜など様々な材料の微細構造化・微細加工を目的としています。このシステムは、反応性イオンエッチング（RIE）を使用して、高アスペクト比の微細構造を作成します。CANON ILD 4003Mは、長いライフサイクル、効率的で信頼性の高いパフォーマンス、および低消費電力を備えています。ANELVA ILD 4003Mは、高真空熱エッチング機能により、従来のシステムよりも低いイオンエネルギーを実現します。マグネトロンベースの「コールド」ソース技術を使用して、基板表面に効率的なイオンビーム蒸着を保証します。このユニットには、酸素洗浄、ハードマスク沈着、グロッシング、エッチング、金属エッチングなどのプロセス前処理パラメータと後処理ステップのさまざまな機能が装備されています。ILD 4003Mの統合プロセス周波数制御（IPFC）およびプラズマフォーカシングは、反応性イオンエッチングを強化し、より高い精度を実現するように設計されており、高品質で再現性のあるデバイス機能を提供します。さらに、CANON/ANELVA ILD 4003Mは、優れたエッチング均一性、小型の機能サイズ、および高エッチング率を提供します。また、アルゴン、二酸化炭素、酸素、水素など、さまざまなエッチングガスもサポートしています。CANON ILD 4003Mは、リソグラフィ、3D成形、MEMS、その他の微細加工プロセスなど、さまざまなアプリケーションとの互換性を確保し、幅広いプロセス条件を提供します。直感的なLCDタッチパネルインターフェースを採用し、エッチングプロセスの簡単な操作と管理が可能です。さらに、ANELVA ILD 4003Mには、効率を確保し、ダウンタイムを最小限に抑えるためのリモート監視機能が内蔵されています。全体として、CANON ILD 4003Mは、多種多様な用途で高品質の微細構造を実現するための理想的なエッチング装置です。このツールの最先端の機能と高度な技術により、産業用マイクロファブリケーションの信頼性と強力なツールとなります。