中古 CANON / ANELVA ILD 4002 #9111382 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4002は、半導体製造で使用されるアッシャーとしても知られるエッチャーです。この機械は、シリコンウェーハ上に誘電体および金属エッチング成分の薄膜を堆積するように設計された、洗練された多段反応イオンエッチャー（RIE）およびドライエッチャーです。高解像度の微粒子を生成することができます。機械はコンピュータによって制御され、エッチングパラメータを正確に制御できます。これにより、エッチングの損傷の広がり、開孔率、底壁プロファイルの程度を制限することで、エッチング結果を最適化することができます。サイドウォールバイアスがゼロの3D構造のエッチングにも使用できます。CANON ILD 4002は、3、5、8インチウエハの加工が可能です。プラズマチャンバーには、エッチング構造の性能に影響を与える危険な表面汚染レベルを最小限に抑えるために、二次電子抑制装置（SES）と干渉フィルタが装備されています。自動化されたゲージ装置は、コンピュータシステムへのフィードバックを伴う、一定のプロセス監視を保証するために含まれています。このユニットには、圧力制御レギュレータと精密エッチング用の水晶マイクロバランスも備えています。機械独自の設計により、洗浄工程に要する時間を短縮し、メンテナンスを容易にします。このマシンは、ウェーハのタイトな配置を支援する高感度の熱制御ピンセットでさらに強化されています。ANELVA ILD 4002は、最大限の安全性を確保するために特別に設計されています。その安全システムには、アルゴンアトマイザー、緊急時の安全制御信号、およびいくつかの安全センサーが含まれます。排気フィルターは、安全な作業環境を確保するために、閾値限界をはるかに下回る粒子レベルを維持します。全体として、ILD 4002は最先端のエッチングツールです。これは、ますます複雑化するマイクロファブリケーションプロセスのためのタイトで小さな機能を生成することができます。それは半導体産業のために利用できる最も普及したエッチング・システムの1つにする複数の安全および技術の特徴を特色にします。