中古 CANON / ANELVA ILD 1060 #9111594 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 1060は、キヤノン株式会社が製造する高精度エッチャー/アッシャーです。この装置は、幅広いウエハ加工用途に、高度なドライエッチングとイオン化された物理スパッタリングを提供します。高倍率の光学ユニットを使用して、イオンビームを正確に集中させ、より低い基板損傷でより高い処理精度を提供します。このマシンは、精密なリニアドライブサーボモータを備えた統合された4軸モーションツールで構築されています。高精度なファインパターニングを実現するため、正確かつ再現性のあるエッチング処理を提供します。DVMC （Direct Vibration Motion Compensation）は、外部振動に応答して変動を最小限に抑えた超微細エッチングを実現します。CANON ILD 1060は、幅2ミクロン、奥行き40ナノメートルまでのエッチング機能を備え、シリコンウェーハ上に超微細パターンを生成することが可能です。アセットは、レイヤーの整合性を損なうことなく、異なる材料層をエッチングできるため、多層プロセスに使用できます。このモデルは、超薄型フィルムエッチング技術を使用した上下方向プロセスを自動化し、高精度のエッチングを可能にすると同時に、均一性とプロセスウェーハの損傷を低減します。この装置は、基板表面に最大1000Wの電力を供給することができる調節可能な局部加熱システムで乾燥灰も可能です。ANELVA ILD 1060は酸素、アルゴンおよび窒素を含むさまざまなプロセスガスと互換性があります。その内部スクラバー粒子単位は汚染を減らし、優秀なウェーハのクリーニングを保障します。このマシンには、リモートモニタリングと制御を可能にするオンサイトのリモートインターフェイスも含まれています。結論として、ILD 1060は、さまざまな便利な機能を提供する強力で正確なエッチャー/アッシャーツールです。包括的なエンドツーエンドのリモート機能と相まって、高精度の微細パターンを作成する能力は、ドライエッチングとイオン化された物理スパッタリングプロセスの最前線に配置します。