中古 CANON / ANELVA I-42230 #9236119 を販売中

CANON/ANELVA I-42230は、金属プラズマイオンエッチャー/アッシャーツールです。アルミニウム、銅、金などの金属を、さまざまなウエハ基板上で現場でエッチング、洗浄、除去するために設計されています。キヤノンI-42230は、真空とガスの供給、マルチハイトウェーハマニピュレータ、および高真空メタルプラズマソース（MPS）を備えたシングルチャンバー構成を採用しています。MPSは、アノードと2リングの電極をコンデンサで駆動し、エッチング用のイオンビームを作成します。陽極は高速タングステンワイヤーから成り、電極の2つのリングはアルミニウム貝および銅リングから成っています。ANELVA I-42230は、ウェーハ表面から金属と酸化金属をエッチングし、金属表面をクリーンにし、ウェーハから金属を剥離することができます。それはプロセス変数および条件の広い範囲のために適しています。I-42230には、エッチングおよびクリーニングプロセスの正確な制御を可能にする可変マスフローコントローラが装備されています。CANON/ANELVA I-42230は、プロセス、ウェーハ表面積、膜厚に応じて、約1〜数分のエッチング時間があります。また、約4マイクロメートルよりも厚いウェーハの治療にも使用できます。最大エッチング速度は1。0 µm/min、最大プロセス温度は500°Cです。CANON I-42230は、50〜8 x 10-5 Paの真空範囲を備えており、窒素と酸素水素、アルゴンと酸素水素の2つのプロセスガスが可能です。エッチングには12kW、アッシングには36kW、プロセス圧力範囲は0。3〜30mbarです。安全のために、ANELVA I-42230には、ガスの流れとプロセス条件を監視するセンサーを備えた火災警報システムがあります。システムは、あらゆる危険を警告する中央制御システムに接続されています。I-42230には非常停止スイッチと接地断層遮断器も備えています。CANON/ANELVA I-42230はセットアップと操作が簡単です。また、性能にも高い信頼性があり、市場で最も費用対効果の高いプラズマエッチング/アッシャーツールの1つとして知られています。このエッチャー/アッシャーツールは、ウェハの製造、MEMS/MOEMSプロセス、および集積回路の製造に最適です。