中古 CANON / ANELVA I-4100 SVII #9158755 を販売中

CANON/ANELVA I-4100 SVIIは、精密プラズマエッチング、アッシング、ウェハ加工用に設計されたエッチャーアッシャーです。これは、多くの用途において半導体ウェーハ加工において最先端の選択肢となっている高効率な装置です。この機器は、最大の柔軟性を実現するモジュラー設計を備えているため、配線の大規模な再接続を必要とせずに4つのチャンバを順番に接続できます。4つのチャンバーは直感的な制御装置に接続されているため、自動化されたプロセスを簡単に作成および監視でき、各プロセスの精度と均一性を保証します。この機器は完全にスペースを節約する設計を備えており、パフォーマンスを犠牲にすることなくスペースを制限することができます。エッチャーアッシャーには、高周波ドライブ（HFD）と高圧電源ユニット（HVPS）が装備されています。HFDは500kHzで動作し、さまざまなウェハ上でさまざまなプラズマ処理アプリケーションを実行することができます。また、UPS （Uniform Processing Unit）を搭載しており、幅広いウエハに均一なプラズマ処理が可能です。CANON I-4100 SVIIは、安全性とメンテナンスを念頭に置いて設計されており、エッチャーアッシャーのシーケンスとステータスを監視するセーフティプローブとリバースコントロールマシンが内蔵されています。アクセサリーの範囲は、作業エリアからの廃ガスや発煙を排除する特別な通気工具で、この機器は環境に優しくなります。このエッチャーアッシャーの設計により、正確で再現性のあるプロセスが可能になり、部品ごとにバリエーションが減少します。ANELVA I-4100 SVIIは、プロセスを自動化し、時間の無駄を抑えることができるため、半導体ウェーハ処理に最適です。