中古 CANON / ANELVA I-2100 #293754407 を販売中

CANON/ANELVA I-2100は、CANONとANELVA、 Inc。が製造するエッチャー/アッシャーモデルです。キヤノンI-2100は、高度で高性能なエッチャー/アッシャー装置です。このモデルは、Si微細加工の製造に使用されます。Si集積回路（IC）表面の回路パターンをエッチングするために、プラズマ発生器、真空チャンバー、排気ブロワーを使用しています。さらに、このシステムは、フォトレジスト残留物、有機汚染物質、およびその他の望ましくない残留物などの望ましくない表面材料をアッシングすることができます。ANELVA I-2100は、スパッタとエッチングの両方の能力を最大化するために、デュアルプラズマ生成ユニットを使用しています。エッチング工程では、イオン化されたプラズマがSiの表面パターン形成を引き起こします。この工程は効果的にターゲット層を除去し、残りの残留物はその後、表面から放出または埋葬されます。この機械は、4つの外部ガス源、最大715°Cの高温、および最大1,000 mbarのチャンバー圧力を利用して、最も過酷なSiベースの材料でもエッチングすることができます。さらに、このツールは調整可能なRFデューティサイクルと、マルチステージプロセスを可能にする追加機能を備えています。I-2100のコンピュータ化されたPCコントロールセンターは、エッチングとアッシングのパフォーマンスを監視する方法を提供し、ユーザーはエッチングとアッシングのパフォーマンスを最適化するために資産パラメータを制御することができます。CANON/ANELVA I-2100エッチャー/アッシャーモデルは、ラピッドプロトタイピング、機能密度強化、およびMEMS製造に最適なツールです。その堅牢な性能、高度なエッチングおよびアッシング機能、および調整可能なパラメータにより、エンジニアやデザイナーの間で人気があります。高度なPC制御センターと複数のガス源により、他のシステムやプロセスと容易に統合でき、効率を最大限に高めます。