中古 CANON / ANELVA I-2100 SRE #293666068 を販売中

キヤノン/ANELVA I-2100 SREは、産業用および研究用の高度な表面処理のニーズに対応するために開発された高精度エッチャー/アッシャーです。このユニットは、最先端の機能を備えており、優れた精度と再現性を備えた高品質のエッチングまたはエッチング/研磨面を製造することができます。CANON I-2100 SREは、エッチングとアッシャーの両方に対応する高圧真空機能、2つの独立したガス流量システム、およびコンピュータ制御照明機器を内蔵しています。また、イオンビーム発生器、およびプロセス領域全体で均一なガス圧力と温度を保証する自動制御システムを備えています。プロセスチャンバー内で使用される燃焼ガスは、正確な圧力制御のために監視され、データロギング、処理、およびプロセス制御のためにコンピュータがリンクされています。ANELVA I-2100 SREは、Si、 Al2O3、 Cr、 Ta、 TiC+Si、 TiN+Siなど、幅広いエッチングおよびアッシング材料を提供しています。それはプリプログラムされた変数の利用によってエッチングし、asherように設計されています、さまざまな適用条件のために適した設定の広い範囲と作動します。さらに、SRE I-2100アーク抑制ユニットを内蔵しており、スパッタリングによるプロセスチャンバーの劣化を防ぎます。また、ICPツールなどの外部システムと統合し、現場でのエッチングを可能にする機能も備えています。CANON/ANELVA I-2100 SREには、結晶偏向制御、二次ガス入口、排気口、追加のベルジャーなど、さまざまなオプション機能があります。これらはプロセスの歩留まりを改善し、プロセス部屋をきれいに保つのを助けるように設計されています。最後に、CANON I-2100 SREは、優れた安全機能、低メンテナンス設計、操作の容易さを備えた信頼性の高い堅牢なエッチャー/アッシャーです。このユニットは、さまざまなオプション機能を備えた手動バージョンとコンピュータ制御バージョンの両方で利用できます。その全体的なパフォーマンスは、多くの場合、他のエッチャー/アッシャーのそれよりも優れています。