中古 CANON / ANELVA DEM-451 #9284054 を販売中

キヤノン/ANELVA DEM-451は、精度と精度を高速かつ効率的に組み合わせた汎用性の高いエッチング/アッシング機です。それは最高レベルの清潔さ、再現性および低い総所有コストを提供することができる高度装置です。CANON DEM-451は、温度、エッチング時間、電流レベル、排気時間など、すべてのプロセスパラメータの完全なトレーサビリティを提供する統合制御装置を備えています。ANELVA DEM-451は、熱制御ガス（酸化・還元）とエッチングツールを組み合わせて基板表面から材料の層を除去します。エッチングガスは、エッチング速度とウェーハ状態の最適なバランスを作り出すために制御されています。DEM-451によって有効にされる制御のレベルは比類のない、要求された層の最高の生産性、効率および質を保障します。CANON/ANELVA DEM-451はムーブメントチャンバーを備え、完全なスキャン機能と一定のエッチング速度を提供します。チャンバーは最大3枚の回転板を持ち、異なる基板での同時エッチングを可能にします。機械は5つの機能セクションに分けられます；プリエッチング、エッチング、ポストエッチング、製品の排気と再循環、最大のプロセス柔軟性を提供します。キヤノンDEM-451は、ユーザーフレンドリーな統合情報システム（IIS）を備えています。自動レシピ管理ユニットが含まれており、オペレータはエッチングプロセスのパラメータを設定および監視できます。統合ソフトウェアは、開始から終了までのすべてのプロセスの完全なトレーサビリティを提供します。ANELVA DEM-451の堅牢な構造と耐久性は、すべての作業環境で信頼性と効率をユーザーに提供します。機械は簡単に取り外し可能で、メンテナンスコストを最小限に抑える必要があるため、費用対効果の高い操作に最適です。全体として、DEM-451は信頼性が高く、効率的なエッチング/アッシング機です。これは、ユーザーに精度と制御、比類のないプロセスの柔軟性と便利なアクセシビリティを提供します。精度、再現性、スピードを重視する方には、CANON/ANELVA DEM-451が最適です。