中古 CANON / ANELVA DEM-451 #9055187 を販売中

CANON/ANELVA DEM-451は、マイクロスケール表面や材料の加工に使用されるウェットエッチングおよびアッシングドライエッチャーです。基板作製、デバイス製作、マイクロコンタクト印刷、3Dプリンティングなど、さまざまな用途や材料に最適な2つの異なる加工ユニットを備えています。ウェットエッチングユニットはスラリータンクと可変圧力ポンプを備えています。エッチング領域全体に均一な圧力をかけることで、より高い精度と精度を実現します。スラリータンクには、KOH、 TMAH、 HFソリューションなどの様々な混合物と、カスタマイズされた反応剤を搭載することができます。液体流量と圧力の両方を調整して、所望のエッチングパラメータを達成することができます。エッチレートは、オンボードPCで自動的に監視できます。キヤノンDEM-451のアッシングドライエッチングユニットは、真空チャンバーと複数のプラズマ源で構成されています。真空は、アッシングプロセスのためのクリーンで安定した環境を提供します。プラズマ源は、需要に応じて集中して均一なプラズマを生成し、完全なアッシング結果を得ることができます。処理する材料に合わせて、アッシングプロセスパラメータをカスタマイズできます。これらのパラメータには、酸素、アルゴン、ヘリウム、またはCF4などのエッチング速度、時間、および使用されるガスの種類が含まれます。この高度なエッチャーはバッチ処理用に設計されており、最大19個のウェーハを同時に処理できます。ANELVA DEM-451はマイクロスケールの表面および材料をエッチングし、ashingための多目的で、精密な用具です。これは、信頼性の高い堅牢な設計を備えており、要求の厳しいマイクロプロセッシングアプリケーションで優れた性能を提供します。ユーザーフレンドリーな制御システムは、直感的なインターフェイスとプロセスの自動化を提供します。その強力な機能性、柔軟性、精度により、基板の準備、デバイスの製造、マイクロコンタクト印刷、3D印刷に最適です。