中古 CANON / ANELVA DEA-503 #293649682 を販売中

キヤノン/ANELVA DEA-503は、半導体などのマイクロエレクトロニクス材料をエッチングするために特別に設計されたリアクティブイオンエッチング（RIE）機です。RIEプロセスは、化学反応剤と電界から生成されたプラズマを用いて基板表面から材料を除去することにより、高精度な結果を生み出します。CANON DEA-503は、シリコン、石英、セラミックスなどの有機材料と無機材料の両方をエッチングすることができ、他の半導体や誘電体の層の配列があります。最大温度範囲は200〜600°Cで、最大200mm、重量15kgの基板に対応できます。この機械には、プラズマチャンバーと必要な真空および化学反応剤を提供する2つのポンプから始まるいくつかの主要コンポーネントが含まれています。この反応剤はエッチングされる材料に応じて選択することができ、酸素、塩素、フッ素などの元素を使用することができます。周波数制御源発電機である電源は、プラズマの発生に必要なRF電力を供給します。チャンバー内の電極は、エッチング用途に応じて構成することができる方向電界を作成します。圧力測定センサを使用すると、オペレータはプラズマチャンバーの圧力バランスを監視することができます。ANELVA DEA-503に含まれている高度なソフトウェアは、直感的なユーザーインターフェイスを提供します。エッチング処理を効率化するために、オートストップ、オートスタート、オートチューニングなどのオートメーション機能も含まれています。さらに、ユーザーインターフェイスは、エッチング処理中の問題のトラブルシューティングに使用できる豊富な診断データを提供します。DEA-503は市場で最も信頼性が高く正確なエッチング機の1つです。幅広い材料の精度と精度の両方で優れた結果を提供するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと高度なオートメーション機能により、さまざまな産業用エッチングアプリケーションに適しています。