中古 CANON / ANELVA 4100 #9210331 を販売中

CANON/ANELVA 4100は、半導体デバイスの精密エッチングおよびアッシングに使用される、乾燥した無線周波数エッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、13。56MHzの周波数で動作し、SiO2ストリッピング、酸化物口開口、酸化物側壁および底面エッチングおよびFGA脱カプセルなどのエッチングおよびアッシングプロセスの範囲を実行するために使用できます。これは、アプリケーションの高スループットを可能にするように設計されており、通常、半導体デバイスの製造に使用されます。CANON 4100は、薄型サイドパネル式ボディを採用したコンパクトなデザインで、高精度を必要とするチップスケールエッチング用途に最適です。また、部品の積み降ろし用のフルワークデッキを備えており、最大8つのエッチングゾーンを制御してプロセス効率を向上させます。さらに、このユニットには4つの温度制御段が装備されており、ユーザーはエッチングまたはアッシュの前に特定の温度に基板を予熱して冷却することができます。ANELVA 4100には、電流および電圧用のin-situ検出機、ガス流量検出、温度監視など、いくつかのプロセス監視機能が含まれています。これは、すべてのプロセスが正確に行われ、エッチングされたデバイスが望ましい結果を達成することを保証するのに役立ちます。さらに、このツールには、プロセスチャンバーからのRF放射を防止するためのRFシールドチャンバー、および可能なRF漏れを検出するためのin-situ RFスーパーバイザなど、多くの安全機能があります。4100は、半導体デバイスの信頼性の高い高精度エッチングとアッシングを提供できる汎用性の高い信頼性の高い資産です。その目立たない設計と現場でのプロセス監視機能により、正確な制御と監視が可能です。モジュラープロセスコントロールパネルと4つの温度制御ステージにより、ユーザーはアプリケーションのエッチングとアッシングパラメータをカスタマイズできます。このモデルは、精度と効率の高い半導体デバイスを製造するための理想的なツールです。