中古 BROOKS AUTOMATION 001-8200-89 #293664916 を販売中

BROOKS AUTOMATION 001-8200-89は、エッチャー/アッシャーであり、ハイテクなマイクロエレクトロニクス製品の製造に使用される機器の一部です。薄膜、シリコンウェーハ、ポリマーなどのパターン基板のエッチングおよび/またはアッシングを製造するため、半導体業界で重要な機械です。8200-89は、半導体とパッケージングの両方のニーズを満たすように設計されています。8200-89はマニュアルエッチャーよりも多くの利点があります。これは、自動基板ローディングや多数の周辺機器およびコマンド制御システムなど、多数のオプションを備えた自動プラットフォームを備えています。さらに、8200-89は、手動駆動システムよりも特定の時間枠でより多くの基板を処理することができます。これにより、大量のバッチ処理に最適です。8200-89は高度に構成可能な機器です。0。5 μ mから20 μ mまでのさまざまな形状とサイズのエッチングを製造することができます。エッチングプロセスの腐食環境は、封じられたシステム内に含まれ、制御されます。また、温度および圧力制御を備えており、基板の精密かつ再現性の高い加工が可能です。精密エッチング機能に加えて、8200-89は生産管理と監視に関連する幅広い機能を提供します。統合されたデータ入力とリコールマシンを備えており、監視と記録を簡単に行うことができます。さらに、このユニットは、オンラインおよびオフラインデータロガーを介してプロセス監視を提供します。このデータは、評価およびトラブルシューティングのために他のシステムに転送できます。このツールには、人員と製品を保護するための多数のセーフガードを含む安全機能が装備されています。8200-89は、オープンベント設計に加えて、UL、 CSA、およびNECの安全規制を満たすように設計されています。最適な性能を維持するために、機械には、差し迫った危険が発生した場合に要員に警告する自動洗浄システムと警告システムも装備されています。8200-89の設計は、使いやすさ、信頼性の高い性能、メンテナンスの容易さなど、確立された業界の原則に基づいています。統合設計により、アセットの操作が容易になり、必要に応じて効率的なサービスと修理が可能になります。これにより、8200-89は大量生産とハイテクなマイクロエレクトロニクスの開発に最適です。