中古 BRANSON L3100/3 #9124208 を販売中

BRANSON L3100/3は、プリント基板、半導体ウェーハなどの高性能エッチングやアッシングに使用されるエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、調整可能なエッチング深さ、調整可能なフィラメント温度、140 μ mのスポットサイズ、最大20分のエッチング時間、および1時間あたり最大10ウェーハのスループットなど、さまざまな機能と機能を提供します。また、最大10個の基板を同時に処理することも可能です。エッチャー/アッシャーはマイクロエレクトロニクス用途向けに設計されており、クリーンルーム環境に統合することができます。BRANSON L3100/3は、エッチングおよびアッシュ機能の高精度、高速、再現性を提供するため、チップレベルのプロセスアプリケーションに最適です。それは電気によって動力を与えられ、32インチの広い電動キャリッジから作動します。エッチャー/アッシャーは、基板への電磁放射の影響を低減するのに役立ち、平坦で非多孔質な表面を有しています。また、4つの電極に簡単にアクセスできるため、ユーザーはエッチングおよび/またはアッシングパラメータを目的の値に調整できます。高いエッチング速度を確保するため、-2。1〜3。3 mbarの圧力で動作し、正確な温度調節のために統合された温度コントローラを備えています。エッチャー/アッシャーには、デバイスに合わせて構築されたバスケットが付属しています。このバスケットは、1つのバッチで最大10の基板を保持します。それはまた調節可能な締め金で止める圧力調節と荷を積まれ、すぐに荷を下すことができます。調節可能な締め金で止める圧力は基質のサイズかタイプに関係なく均一なエッチングプロセスを可能にします。さらに、窒素ガスの使用は、プロセス中に基板の酸化を避けるのに役立ちます。エッチャー/アッシャーには、ユーザーがデバイスのすべての機能にアクセスできるタッチスクリーンコントロールパネルが含まれています。インターフェイスは、エッチャー/アッシャーの簡単な操作を提供し、パラメータを設定し、エッチング/アッシング処理を実行するための明確で直感的なメニューを持っています。結果はチャートレコードに印刷して分析することができます。安全なエッチング操作を確実にするために、BRANSON L3100/3エッチャー/アッシャーには安全カットオフスイッチが装備されており、過負荷がある場合やパラメータ設定が安全な動作制限を超えている場合はデバイスをシャットオフします。さらに、主要なメンテナンス要件のない低メンテナンス設計は、デバイスのダウンタイムを短縮するのに役立ちます。