中古 BRANSON / IPC SIGMA 80 #77368 を販売中

BRANSON / IPC SIGMA 80
ID: 77368
ウェーハサイズ: 4"
Plasma etcher, planar, cassette, 4" without pump.
BRANSON/IPC SIGMA 80は、薄い金属および金属合金膜を基板に堆積させるために使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチャーは水平面で機能するように設計されており、一度に最大8つの異なる基板を収容することができます。IPC SIGMA 80は、70-150°Cの温度範囲と240°Cの最高温度で、均一なエッチング温度を提供する精密加熱プラテンを備えています。BRANSON SIGMA 80には2つのエッチング/アプリケーションヘッドがあり、それぞれに2つのノズルがあり、金、銀、銅、アルミニウム、酸化アルミニウムなど、さまざまな金属および金属を堆積することができます。各ヘッドは個別に作業することもでき、独立したエッチングまたは複雑な多層蒸着を可能にします。オペレータは、ノズルが均一な成膜のために基板に押し込まれる接触エッチング、またはノズルが基板の表面から一定の距離を保持するフリーエッチングのいずれかを選択することで、適用される金属量のより多くの変動を可能にします。SIGMA 80には、シールドガス、排気、安全インターロックなど、オペレータを保護するための多くの安全機能が含まれています。エッチャーには、エッチング環境からほこりや破片の粒子を除去する自動フィルターシステムもあり、ノズルは目詰まりや破損時に交換するように設計されています。BRANSON/IPC SIGMA 80には、完全に構成されたソフトウェアインターフェイスが付属しており、エッチングパラメータを迅速かつ簡単にプログラミングできます。エッチング機能に加えて、IPC SIGMA 80はアッシャーとしても機能し、フォトレジスト、焼結剤、その他の不要な有機残留物を基板から除去することができます。アッシャーには加熱された誘電体バスが装備されており、基板表面からフォトレジストや焼結剤を均一に除去することができます。BRANSON SIGMA 80には、基板表面のシャープなエッジのバリ取りやスムーズ解除に使用できるクォーツエッチチャンバーも含まれています。全体的に、SIGMA 80は、さまざまな設定で基板の信頼性の高い成膜とエッチングのために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。完全に自動化された機能、安全機能、包括的なソフトウェアインターフェイスは、信頼性の高い高品質のエッチングおよびアッシング機能を必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。
まだレビューはありません