中古 BRANSON / IPC S3003c #9056164 を販売中

BRANSON/IPC S3003cは、高品質の結果を提供しつつ、使いやすさと信頼性と費用対効果の高いパフォーマンスを提供する汎用性の高いプラズマエッチングおよびアッシング機器です。IPC S3003cはステンレス鋼の多室プラズマエッチングおよびashing部屋といろいろな基質および血しょう処置を扱うように設計されています。これは、ガス相と化学プラズマエッチングとアッシングの両方の機能を提供します。この装置には、チャンバー内の圧力を調節するために使用できるターボポンプが内蔵されており、プラズマエッチングとアッシングプロセスを正確に制御できます。この機器は、幅広いエッチング条件にわたる精密エッチング制御用のプログラマブル電源で設計されています。異なる基板タイプは、最高の結果を提供するために異なるエッチング条件を必要とします。BRANSON S3003cは、さまざまな基板タイプの最適なエッチング時間と圧力にアクセスするための幅広い設定を提供します。エッチャー/アッシャーには、電気バイアスとマイクロ波アシストプラズマ（MAP）サブシステムも備えています。これは、従来のプラズマエッチングとRFプラズマエッチングの両方の利点を組み合わせて、精度とエッチング品質を向上させます。電気バイアスはイオン化を増加させ、エッチングの精度と精度を向上させるために周囲のフィールド歪みを低減します。MAPサブシステムは、プラズマ種を拡張してより高い分子量の種とラジカルを含み、エッチングの均一性と選択性を向上させます。S3003cには自動ロードロックプロセスと臨時雇用者制御チャンバーが装備されています。この2つの特徴は、エッチングチャンバーへの基板の迅速な積み下ろしとエッチングプロセスの制御環境を提供するために協力しています。ロードロックプロセスにより、エッチング品質を損なうことなく、複数の基板をバッチにロードおよびアンロードすることができます。一方、温度制御チャンバーは基板とプラズマをエッチング工程全体で一定の温度に保つことを保証します。最後に、BRANSON/IPC S3003cにはグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しており、エッチングプロセスを監視および制御するための簡単で直感的な方法を提供します。GUIはまた、ユーザーにさまざまなプロセスパラメータへのアクセスを提供し、要件に応じた設定の調整を可能にします。IPC S3003cプラズマエッチングおよびアッシングシステムは、品質、信頼性、性能を提供する業界をリードする機器です。さまざまな基板のエッチングとアッシングに最適で、エッチングプロセスを正確に制御するだけでなく、自動ロードとアンロード、温度制御チャンバ、グラフィカルユーザーインターフェイスなどの機能も提供します。これは、高品質で費用対効果の高いエッチングとアッシングソリューションを必要とする人にとって理想的な選択肢です。