中古 BRANSON / IPC Reactor center PM-11220 #9173380 を販売中

BRANSON/IPC Reactor Center PM-11220は、高度な微細加工プロセス用に設計された多機能エッチャーおよびアッシャー装置です。これは、ユーザーが生産効率を向上させるために信頼性の高い処理モジュールにさまざまなソースを統合することができますモジュール設計を備えています。原子炉中心部は主に微細構造や部品のエッチングやアッシングに使用されています。高性能RFソースを搭載し、40cm四方のワーキングエリアを備え、より大規模なエッチングとアッシングが可能です。このシステムは、単一のジョブで最大12の異なる基板をバッチ処理することも可能であり、異なる基板組成による一貫性のない性能のリスクを低減します。8ゾーンのガス供給ユニットは、炭素沈着を低減し、優れたプロセス制御を提供するヘリウムガス洗浄を備えています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスを使用することで、ユーザーはガス濃度、圧力、温度、電力など、さまざまなエッチングおよびアッシングパラメータをさらに調整できます。この機械は、シリコン、フェライト、石英、サファイアなど、多くの種類の材料のエッチングとアッシングに使用できます。優れた精度と精度のおかげで、原子炉センターは、小型または複雑なデバイス構造を含む微細加工プロセスに非常に適しています。また、汚染や生産ボトルネックのリスクを最小限に抑えるために、現場監視技術も備えています。IPC Reactor Center PM-11220は、機能と精度を兼ね備えており、高度な微細加工アプリケーション向けに高品質で信頼性の高いエッチングとアッシング性能を求めるユーザーに最適です。