中古 BRANSON / IPC PM 1813 #293740224 を販売中
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BRANSON/IPC PM 1813は、半導体製造および材料研究産業における精密かつ制御されたエッチングおよび洗浄プロセス用に設計された、高度で効率的なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、IPCとBRANSON (Integrated Process Control)の最先端技術と実績ある信頼性を兼ね備えており、プラズマ処理アプリケーションにおいて優れた性能と柔軟性を提供します。IPC PM 1813ユニットはコンパクトで堅牢な設計で、既存の生産ラインや研究施設に簡単に統合できます。その汎用性の高いプラットフォームは、フォトレジスト除去、表面洗浄、誘電エッチング、材料改質など、さまざまな用途に最適です。BRANSON PM 1813マシンの重要なハイライトの1つは、その高度なプラズマ生成と制御機能です。このツールは、高周波RF(無線周波数)電力を使用して、プロセスチャンバー内に低圧プラズマを作成します。プラズマは、高精度で均一な基板表面に選択的にエッチングまたは灰の材料を使用します。PM 1813アセットは、特定のアプリケーション要件を満たすために簡単に調整および最適化できるさまざまなプロセスパラメータを提供します。これらのパラメータには、ガス流量、圧力、RF電力レベル、温度、およびプロセス期間が含まれます。このモデルの直感的なユーザーインターフェイスとソフトウェア制御により、オペレータはこれらのパラメータをリアルタイムで監視および微調整して、目的のプロセス結果を達成することができます。BRANSON/IPC PM 1813は、優れたプロセス制御機能に加えて、高度な安全機能と機器保護メカニズムを備えており、信頼性と安全性を確保しています。このシステムには、インターロック、プラズマモニタリングセンサー、および運転中の事故や機器の損傷を防ぐための緊急停止手順が装備されています。さらに、IPC PM 1813ユニットは、効率的なウエハハンドリングとプロセスオートメーション機能により、高いスループットと生産性を実現します。ウェーハ、フラットパネル、3D構造など、さまざまな基板サイズやタイプに対応でき、生産環境での柔軟性と拡張性を最大限に高めます。BRANSON PM 1813ツールには、さらに機能を強化するためのさまざまなオプションのアップグレードとアクセサリも含まれています。これらには、追加のガス供給システム、エンドポイント検出センサー、現場計測ツール、高度なプロセス監視およびデータ分析用のソフトウェアモジュールが含まれます。全体として、PM 1813エッチャー/アッシャー資産は、精度、信頼性、柔軟性を兼ね備えたプラズマ処理技術の新しい標準を設定します。半導体製造、MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)製造、材料研究に使用されるこのモデルは、業界で最も要求の厳しいアプリケーションをサポートし、革新を促進する最先端の機能を提供します。
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