中古 BRANSON / IPC P2100 #9259552 を販売中

BRANSON/IPC P2100は、多種多様な基板に適した最先端のエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、精密エッチング機能と優れたプロセス制御を提供し、完全な柔軟性を提供します。IPC P2100は、研究開発分野および生産環境におけるさまざまなアプリケーションに最適な、高性能のウェットエッチングおよびアッシングユニットです。低インパクトのプロセスとトップダウンの手順を使用して、基板に最適なエッチングと灰の効果を実現します。フォトマスクとクオーツウエハの両方に対応し、最大サイズは300mmです。このツールは、独自の高度な過酸化物ベースのエッチング工程を通じて酸素とオゾンの組み合わせを使用しています。エッチングの3段階のプロセスには、プリクリーン、エッチング、ポストクリーンが含まれます。プレクリーン段階では、酸化物層が分解され、基板から除去されます。エッチング段階では、O2/O3ストリームを使用してフォトマスクまたは水晶ウェハをエッチングします。最後に、クリーン後の段階で、残りの残留物は表面から除去されます。オゾンと酸素の組み合わせにより、迅速なエッチング速度と正確なエッチング制御が可能です。この資産はまた、生産性を向上させるための高速アッシングを提供します。基板は、フォトマスクや繊細な石英ウェーハを素早く除去するために、O2/O3混合物にさらされます。また、プロセスを浄化し最適化するために800Cする-05Cの動作範囲と温度の広い範囲を提供しています。さらに、このモデルは、エッチングとアッシングの過酷なプロセスに耐えるin-situ圧力制御が可能です。この機器のユーザーフレンドリーなインターフェースは、直感的でシンプルなマシンプログラミングを保証します。直感的なタッチスクリーンは、重要なプロセス情報を表示し、迅速かつ正確なプロセスプログラミングを可能にします。さらに、BRANSON P2100は、機械の動作を最適化するためのエラー検出機能と自己診断機能の両方を提供します。全体として、高速エッチング、アッシング、ポストクリーニングを組み合わせて、優れたプロセス制御を提供できる高度なエッチングおよびアッシングシステムをP2100しています。このユニットは、研究開発分野から生産までの用途に最適で、多種多様な基板に精密エッチングと精製を提供します。