中古 BRANSON / IPC L3200 #9201710 を販売中

ID: 9201710
ウェーハサイズ: 6"
Descum plasma asher system, 6" Dual-chamber Photoresist stripper combines control capability of single wafer processing With throughput typical of batch systems Downstream plasma stripping technology Low-particulate handling / Processing features Oxygen-only process ensure high yields Self-diagnostic Store up to 26 recipes Dual-cassette system up to 60 six-inch wafers per hour with minimal particle generation.
BRANSON/IPC L3200は、精密部品のエッチングおよびアッシングにおいて、可能な限り最高の品質、精度、精度を提供するように設計されたフルフィーチャーエッチャー/アッシャーです。IPC L3200は、独自の不活性ガス噴射装置を使用しており、正確で再現性のあるエッチング/灰サイクルを可能にし、ユーザーに均一な高品質の仕上げを提供します。BRANSON L 3200は、汚染を最小限に抑えるクローズドループ流体供給システム、高度なガスブースト制御、最適なプロセス制御を保証する自動チャンバー分離機能など、堅牢な構造を備えています。コントロールユニットは、Windowsベースのプラットフォームに基づいており、完全なリアルタイムプロセス追跡と正確なサイクルパラメータ調整を提供します。L 3200は、エッチングとアッシングプロセスの両方で最高レベルの精度を提供するユニークなノータッチプログラマブルエッチングマシンを備えています。エッチングツールは、特許取得済みの形状シフトメカニカルアームを使用して、各エッチングを確実かつ正確に作成します。アッシング資産には、最先端の高圧流体注入モデルが組み込まれており、急速な熱適用、短いサイクル時間、優れたプロセス制御と再現性を可能にします。BRANSON L3200は非常に高度なエッチャー/アッシャーで、精密部品のエッチングとアッシングで最高品質の結果を提供します。L3200は、堅牢で信頼性の高いコンポーネントで構築され、一貫性のある高品質のパフォーマンスを確保するために、最新のインテリジェント制御システムを組み込んでいます。高度なエッチングおよびアッシングシステムは、高精度、高精度、再現性を提供し、あらゆるサイクルで一貫した高品質の仕上がりを提供します。
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