中古 BRANSON / IPC L3200 #293811845 を販売中
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ID: 293811845
ウェーハサイズ: 8"
Descum plasma asher, 8"
(1) Chamber with one robot
(2) Gas lines
DC power box
AC power box
Air gauge
Quartz halogen lamp for preheating
Temperature controller.
BRANSON/IPC L3200は、高いスループット能力を備えた精密エッチングとアッシングを提供するように設計された産業用エッチャー/アッシャーです。IPC L3200のステンレス製チャンバーは、最大8。5リットルのバッチを処理できるスケーラブルなボリュームを備えています。温度は一貫したエッチング/アッシングのパラメータを確保するためにデジタル制御されており、大きなチャンバーには過剰エッチング/アッシングを防ぐインテリジェントな空気排気があります。BRANSON L 3200のエレクトリメカニカルドライブ装置は、ユニークな非接触ウェーハリング技術を使用して、均一で調整可能なウェーハ速度を提供します。このウェーハ速度は、サイクルのソフトウェアコントローラと電子制御シャッターによって調整され、十分に制御されたサイクルを可能にします。L3200は、さまざまなエッチング/アッシングのニーズに対応するため、低温および高温のエッチング/アッシングの両方が可能であり、あらゆる加工部品に焼入れプロセスを適用します。IPC L 3200は大容量および簡単な操作による生産OEMのエッチング/ashingのための普及した選択です。BRANSON L3200は、専用のエッチング/アッシングモジュールを使用してさまざまなエッチング/アッシングプロセスを実行する柔軟性からメリットを得ています。これらのモジュールは、所望のサイクルタイム、圧力、温度パラメータを転送するために、面倒なプロセス最適化技術を不要にするのに役立ちます。BRANSON/IPC L 3200はまた、ダウンフローシステムのおかげで廃棄物の封じ込めによる非汚染プロセスを保証します。ガスや廃棄物をリサイクルして大気汚染を防ぎます。L 3200のエッチング/アッシングプロセスは、主に高性能サイクルパラメータによって駆動されます。エッチング/アッシングパラメータは、最適化されたエッチング/アッシングパッケージを取得するために、特定のプログラム用にプリセットされています。エッチング/アッシングモジュールプロセスは、一連のインテリジェントなフィードバックループによって常に監視および調整されます。BRANSON/IPC L3200はまた、リアルタイムプロセスモニタリングマシンを使用して、エッチング/アッシングプロセス全体でサイクルパラメータが一貫して再現可能であることを保証します。IPC L3200は、その効率性、信頼性、一貫した結果で広く評価されている信頼性の高い効率的な産業用エッチャー/アッシャーです。パワフルで正確な生産エッチャー/アッシャーをお探しの方に人気の選択肢です。使いやすさとサイクルパラメータにより、さまざまなアプリケーションに最適です。
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