中古 BRANSON / IPC L3100/3 #197758 を販売中

IPC L3100/3は、さまざまなアプリケーションに優れたエッチングとアッシング性能を提供するように設計された高度なドライエッチャー/アッシャーです。BRANSONが特許を取得したIsoGrip™接触技術と統合されており、正確で再現性のある結果が得られます。このマシンには、薄膜層と基板上の構造部品の深いエッチングを保証するために、10〜6〜10〜7トーラーの究極の真空を備えた強力な高真空ターボ分子ポンプが装備されています。このL3100/3は、BRANSON/IPC特許取得済みのIsoGrip Wrap-Around Heater Technologyと統合されており、幅広い動作温度範囲での正確な温度制御と均一な加熱が可能です。これにより、均一なエッチングプロセスと最適化されたプロセス結果が保証されます。また、最大12のキャリアを処理するように設計された高スループットキャリア機器が含まれています。これにより、ユーザーの処理時間が短縮され、処理時間が短縮されます。L3100/3には、優れたエッチングとアッシング性能を実現するフル機能の統合制御システムが装備されています。これは、最大4つのプログラムステップと64の独立したプログラマブルプロファイルでプログラムすることができます。これにより、プログラムのカスタマイズとプロセスの最適化に最大限の柔軟性を提供します。内蔵のリアルタイム診断機能とフルサイクルログ機能により、再現性とプロセス制御が保証されます。このマシンは、ロードロックと変更されたロードロックの両方を備えています。ロードロックは、キャリアの積み下ろし時にサンプルに理想的な真空環境を維持するように設計されています。変更されたロードロックは、敏感なサンプルへの損傷を防ぐのに役立ちます。L3100/3には、酸スクラブとプラズマスクラブの両方のユニットが装備されています。酸スクラブマシンはチャンバーの内部表面をきれいにし、プラズマスクラブはチャンバー壁とエッジのエッチングを保証します。IPC L3100/3は、最適なエッチングとアッシング性能を提供するように設計された堅牢で信頼性の高いドライエッチャー/アッシャーです。直感的な制御と正確な加熱技術により、高度なエッチングおよびアッシング用途に最適です。