中古 BRANSON / IPC 7102 #3385 を販売中

BRANSON/IPC 7102は、電子部品の効率的で信頼性の高い高アスペクト比エッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。システムは、ユーザーが一貫したエッチングとアッシングを達成するために必要な温度、ガスの流れ、圧力を設定することができ、特別な高温プログラマブルデジタルコントローラを使用しています。このユニットは、エッチングおよびアッシング操作用の独立した制御を備えた大型の照明付きワークチャンバーを備えています。試料の取り扱いのための3次元ステージと、プロセスの制御を改善するためのマルチセグメントの穴あきボトムベンチが装備されています。ワークチャンバーには、熱損失を低減し、プロセス制御を改善し、精巧なフローカバーの必要性を排除するために、頑丈な断熱材が並んでいます。エッチャー/アッシャーは、真空圧力を利用して、ワークチャンバーを介してさまざまなガス種とアルゴンを駆動し、目標とするエッチング速度と表面仕上げを実現します。チャンバー温度は350°Cから3,000°Cまで制御でき、エッチングの均一性と再現性を最大化するように特別に設計されています。IPC 7102には、プロセス圧力を監視し、正確なプロセス制御を維持するためのイオンゲージも含まれています。コントロールユニットは、簡単なプログラミングとリアルタイムの圧力と温度読み出しを提供する鮮明な液晶ディスプレイ（LCD）を備えています。直感的なメニュー駆動プログラミングは、自動パラメーター設定で簡単に操作できます。さらに、このメニューはツールの診断にアクセスできるため、ユーザーはプロセスを正確に監視し、エッチングとアッシングの結果を改善するための調整を行うことができます。BRANSON 7102アセットは、優れたサンプルの均一性と再現性を維持しながら、長い処理時間に耐えるように設計されています。その頑丈な設計と調整可能な動作温度、ガス圧力、ガス流量は、さまざまなエッチング用途に適しています。この高性能エッチャー/アッシャーは、幅広いプロセス速度を提供し、必要なプロセスを迅速に完了できます。