中古 BRANSON / IPC 2000 #9009136 を販売中

BRANSON/IPC 2000は、高性能エッチャーとアッシャーです。特許取得済みの独自の洗浄装置を備えており、エッチングとアッシュサイクルごとに高い精度と品質を維持することができます。400°Fから800°Fまでの温度で動作する能力を備えたIPC 2000は、多くの産業用途に最適です。BRANSON 2000の主なコンポーネントは、エッチングチャンバー、アッシュチャンバー、RF RFジェネレータです。エッチチャンバーは断熱石英で構成されており、所望のプロセス温度を維持するためにリングヒーターを内蔵しています。さらに、チャンバー圧力を測定するイオンゲージ、チャンバー内のガス含有量を管理するガス供給制御、基板温度を測定する熱電対があります。エッチチャンバーは、直径6インチまでのウェーハを処理するのに十分な大きさです。灰室にユニークで回転バスケットのデザインがあり、均一なアッシングを保証します。RFジェネレータはデュアル周波数で、エッチングやアッシュレートなどのプロセスパラメータを調整するための周波数スイッチャーが含まれています。プロセスレートは、所望の仕様を満たすために時間と電力の両方で調整することができます。2000年には、マルチゾーン圧力制御、酸化エッチングオーバースプレー保護、専用のフィルターシステムも含まれており、ユニットの清浄度を維持し、再現可能な結果を保証します。また、熱を最小限に抑え、追加のポストエッチングと灰洗浄のための最小限の要件で超精密な深度エッチングを行うことができます。全体的に、BRANSON/IPC 2000は、信頼性が高く、再現性が高く、正確なエッチングとアッシングプロセスを提供します。ガラス、金属、セラミック、シリコンなど、ほとんどの基板で作業することができます。これにより、自動車、エレクトロニクス、航空宇宙、半導体産業に最適です。