中古 BRANSON B3000 #293824946 を販売中

BRANSON B3000
ID: 293824946
Plasma ashing system.
BRANSON B3000は、精密で信頼性の高いプラズマ処理を必要とする半導体製造、MEMS製造、その他の業界で幅広い用途に設計された汎用性と高効率のエッチャー/アッシャー装置です。この高度なシステムは、革新的な機能、優れた性能、使いやすさを兼ね備えており、研究環境と生産環境の両方に最適です。B3000は、高度なプラズマ技術を駆使し、基板の精密かつ均一な加工を実現し、高い反復性と優れたプロセス制御を可能にします。このユニットには、エッチングおよびアッシングプロセスに必要なプラズマを作成するために最大600ワットの電力を供給できる洗練されたRF電源が装備されています。この高出力能力により、シリコン、ガラス、セラミックス、ポリマーなど、さまざまな材料の高速かつ効率的な処理が保証されます。BRANSON B3000の主な特徴の1つは、さまざまなプロセス要件に対応するための簡単なカスタマイズを可能にする柔軟なチャンバー設計です。このマシンは、さまざまなチャンバーサイズと構成、および特定のアプリケーションのプロセス性能を最適化するための異なるガス分配システムで構成することができます。この柔軟性により、フォトレジスト除去、デカミング、表面洗浄、各種材料のエッチングなど、幅広いプロセスに適したB3000です。プラズマプロセスを正確に制御するために、BRANSON B3000には最先端のプロセス監視および制御ツールが装備されています。このアセットを使用すると、ガス流量、圧力、温度、RF電力レベルなどの主要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。これらのパラメータを継続的に監視することにより、ユーザーはプロセスを厳密に制御し、高い再現性で所望の結果を達成することができます。B3000はまた、チャンバーへのプロセスガスの正確かつ一貫した流れを保証する高度なガス供給モデルが装備されています。この装置は、個々のガスの流量を高精度に調節するマスフローコントローラを備えており、最適なプロセス条件と基板表面全体の均一なプラズマ分布を可能にします。さらに、ガス漏れを防止し、機器の安全な動作を確保するための安全機能を備えて設計されています。ユーザーインターフェイスと制御の面では、BRANSON B3000は、ユニットの簡単な操作と監視を可能にするユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えています。直感的なソフトウェアインターフェイスにより、幅広いプロセスパラメータと設定にアクセスでき、複雑な処理レシピを素早く設定および実行できます。このマシンには、レシピ管理やデータロギングなどの高度なプログラミング機能も含まれており、プロセスの開発と最適化を合理化します。全体として、B3000は非常に先進的で信頼性の高いエッチャー/アッシャツールであり、幅広いプラズマ処理アプリケーションに優れた性能と汎用性を提供します。BRANSON B3000は、革新的な機能、堅牢な設計、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、プラズマ処理における正確で再現性の高い結果を達成しようとする研究者やメーカーにとって理想的な選択肢です。
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