中古 BRANSON 2000X #9216511 を販売中

BRANSON 2000Xは、効率的で反復可能な品質でさまざまな基板を処理するように設計された自動バルクバッチエッチャーおよびアッシャーです。優れた精度と再現性が特徴で、高速サイクルタイムと一貫した温度制御が可能です。エッチャーとアッシャーの効率的で堅牢な設計は、直径7インチ、長さ12インチまでの基板を処理することができ、1回の実行で複数のバッチを処理する能力を持っています。2000Xのエッチングおよびアッシング機能は、使いやすいグラフィカルタッチスクリーンインターフェイスを使用して、手動またはプログラム可能です。酸素プラズマエッチング、Inductively Coupled Plasma Etch （ICP）、またはアッシング機能を利用してさまざまなプロセスを生成し、ほとんどの材料を処理することができます。BRANSON 2000Xは、実行中に温度範囲を調整することもでき、プロセスの封じ込めニーズを満たすために、ターゲット基板材料範囲に留まることができます。さらに、加熱キャップと制御されていないパージ機能を備えた統合ロードロックオプションを備えています。2000Xは真空環境で動作し、動作圧力範囲は1。0mTorr〜20mTorrで、プロセスの再現性を維持します。このユニットの内部真空システムは、ルーチン使用時に4mTorrを超えるベースプレッシャーを維持できる大容量のラージングスクリューポンプを備えています。BRANSON 2000Xは、エッチング、アッシング、および製品品質の管理のためにガスの流れを制御する調整可能なガスラインを搭載しています。調節可能なガスライン、統合されたコンピュータ制御、精密温度制御および有効なプログラム可能性の組合せは最適、信頼できる、一貫した結果を保障します。2000Xには、オゾンフィルタリングシステムと独立して調整可能な調整弁が装備されており、プロセスフローと結果を最大限に制御できます。さらに、グラフィカルなタッチスクリーンインターフェイスは、簡単で再現性のある結果を得るためのパラメータを設定するためのシンプルで包括的なインターフェイスを提供します。全体として、BRANSON 2000X Bulk Batch EtcherおよびAsherは、さまざまな基板に信頼性が高く、安定したエッチングとアッシングを提供するように設計された効率的で堅牢な装置です。精密な温度制御、オゾンフィルタリングシステム、およびユーザーフレンドリーなグラフィカルタッチスクリーンインターフェイスと結合されたその調整可能なガスラインは、効率と精度で基板を一括処理することができます。