中古 BALZERS / UCP LFC 150 #9261441 を販売中

BALZERS/UCP LFC 150は、エッチングとアッシングを同時に行うことができる半導体業界のエッチャー/アッシャーです。2つの独立したスプレーチャンバーを備えているため、中小規模の生産に最適です。UCP LFC 150は、高度なデジタルコントロールパネルと直感的なユーザーインターフェイスを備えています。ユーザーは簡単にパラメータを調整し、システムの状態を監視し、プロセスレポートを生成することができます。エッチャー/アッシャーは、半導体基板に単層または多層膜を堆積することができます。平均チャンバー温度は1°C以内に保つことができ、高真空および超低圧力化学物質を処理することができます。BALZERS LFC 150は、ウェットエッチングや電気めっきなどの業界標準のプロセスを使用して、アルミニウム、銅、金、パラジウム、銀、ステンレス鋼などの幅広い金属を処理できます。2つの統合された炉の部屋は1200°C。まで温度の先端材料を処理する柔軟性を提供します。さらに、LFC 150は高速な均一性と再現性により、優れた品質の仕上がりを提供することができます。エッチャー/アッシャーは、プロセスの最適化と制御のための堅牢なリモート監視機能も提供します。ガスデリバリーシステムは、高速空気圧バルブとピエゾスケールを備えており、ガスの流れを正確に監視および制御することができます。さらに、BALZERS/UCP LFC 150には高度なプロセスガスデリバリーシステムがあり、ユーザーはガス分数、タイプ、圧力レベルを調整して特定の要件を満たすことができます。その信頼性と再現性に加えて、UCP LFC 150は、アクティブチャンバー排気、リモートコントロールインターロック保護、緊急電源シャットダウンなどの安全機能も備えており、業界で最も安全なエッチング/アッシングシステムの1つです。BALZERS LFC 150は、最先端の技術と高度な機能を備え、信頼性の高い高品質のエッチングおよびアッシング・サービスを提供し、多種多様な半導体製造プロセスに適しています。