中古 BALZERS LFC 150 #9258235 を販売中

BALZERS LFC 150は、500ミクロンまでのダイナミックフィーチャーサイズの基板のエッチング/アッシング用に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。この装置には、プロセス速度と精度を向上させる自動基板ローダーが装備されています。LFC 150には、マイクロマシニング用のデュアルビームレーザーが含まれており、1つはサンプルに焦点を当て、もう1つは基板に直接焦点を当てています。レーザービームは、気化、アブレーション、アッシング、エッチング処理に使用されます。ビームのサイズは特定の適用に合うために調節可能です。さらに、機械のビームは正確なエッチングを確実にするために正確に整列することができます。エッチャー/アッシャーは不活性な雰囲気を利用し、高い精度で優れたエッチング結果を実現します。不活性な大気は窒素、アルゴンおよび酸素から成り、表面材料の均一な切除を保障するのを助ける。エッチング温度は、サンプルサイズと材料に応じて調整して表面の損傷を防ぐことができます。この機械は、反応性イオンエッチング、イオンビームエッチング、化学蒸気エッチング、プラズマエッチングなど、さまざまなエッチング処理を実行できます。エッチパラメータを正確に制御するための制御システムを備えています。パラメータは、異なるプロセスのために調整することができます。BALZERS LFC 150は、潜在的な害からオペレータを保護するための内蔵の安全ユニットも備えています。このマシンは、障害や不規則な操作を検出するセンサーで構築されているため、危険な環境でもオペレータは安全に保たれます。全体的に、LFC 150エッチャー/アッシャーは、非常に高精度にエッチングと灰の基板を可能にする強力で信頼性の高い機械です。強力なレーザービーム、不活性な雰囲気、高度な制御システム、包括的な安全機械を組み合わせることで、小規模で大規模なアプリケーションに最適です。