中古 BALZERS / INFICON LFC 150 #9298823 を販売中

BALZERS/INFICON LFC 150は、信頼性と再現性の高い方法で様々なサンプルをエッチングおよびアッシャーするように設計された多機能エッチャーまたはアッシャーです。この装置は実験室または半導体業界で使用するために設計されており、小さなフットプリントを備えているため、狭いスペースに最適です。BALZERS LFC 150は、ステンレス製の統合プロセスタンクで構成されています。タンク内の液体は、高圧ポンプユニットによって供給され、また、別の反応チャンバーマシンを介して補充することができ、マルチステッププロセスを可能にします。この統合ツールには、必要なプロセス電源だけでなく、エッチングおよび/またはアッシングプロセスを正確に制御するためのエネルギーおよび温度制御資産も含まれます。さらに、制御モデルは、エッチングおよび/またはアッシングの代替プロセス制御として使用できる真空装置に接続されています。INFICON LFC 150には、圧力、温度、電圧、大気ゲージなどのさまざまなプロセスモニタ、およびプロセス中の潜在的な危険な状況を監視できる幅広い安全機能が搭載されています。さらに、この装置は自動プロセス制御を備えており、迅速かつ効率的な操作を可能にし、エッチングおよび/またはアッシングプロセスを監視および制御するためのユーザーの介入を最小限に抑えます。LFC 150は、フロー制御、ガス流量制御、温度および電源制御、エッチング速度、プロセス開始および停止時間などの調整可能な機能を備え、エッチングおよび/またはアッシングプロセスを正確に制御することもできます。さらに、システムは、再現可能なプロセスのためのレシピストレージを提供するなど、特定のニーズやアプリケーションを満たすように構成およびカスタマイズすることができます。BALZERS/INFICON LFC 150は、優れた再現性と厚さと薄さの両方のサンプル材料の優れたカバレッジで、信頼性と迅速に制御されたエッチングおよび/またはアッシング処理を提供します。この単位はユーザーフレンドリー、費用効果が大きく、安全で、優秀なプロセス結果を提供します。