中古 BALZERS / INFICON LFC 150 #9279137 を販売中

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150は、高精度で超高速のタングステンエッチングと大小の基板領域上の重金属灰化プロセス用に設計されたエッチャーまたはアッシャーです。今日の市場で最も先進的なエッチングシステムの1つであり、IC製造、MEMS、半導体アプリケーションなどの高度な微細加工技術に使用するために統合された非常に信頼性が高く、費用対効果の高いツールです。エッチャーは、強力なCO2レーザー装置と高精度の第二高調波共振器で構成され、熱分解を最小限に抑えた最高のエッチング精度を提供するように設計されています。BALZERS LFC 150には、2つの独立したレーザービームと、エッチング工程を正確に制御できる高精度の多軸ステージが装備されています。どちらのレーザーも、同じエッチングサイクルを同時に実行するようにプログラムすることができ、生産性を向上させ、より少ない時間と労力でより正確なエッチングを可能にします。また、温度制御システムにより、0〜30°Cの間で動作温度が維持されることを保証し、40 mbarの基圧を提供する真空ユニットを備えています。真空機械はプロセス部屋からの汚染を急速に除去し、高いエッチングの歩留まりおよび長期正確さをもたらすように設計されています。このツールには、エッチング処理を簡単にプログラムおよび監視するために使用できる制御ソフトウェアとPCインターフェイスも含まれています。これにより、エッチング処理を中断することなく、レーザーバーストのオン/オフ、レーザー強度、エッチングプロファイル、エッチング領域などのすべてのパラメータを瞬時に変更できます。さらに、アセットにはエッチングプロセスを継続的に監視するためのさまざまな専門検出器があり、最高品質の結果を保証します。INFICON LFC 150は、ハイエンドデバイス、MEMS、 IC製造などの高度な微細加工アプリケーションに最適なツールです。精密エッチングと優れたアッシング機能、および高レベルの自動化により、効率的でユーザーフレンドリーなエッチングツールが信頼性の高い結果をもたらします。