中古 BALZERS BAF 400 #9016405 を販売中

BALZERS BAF 400は、BALZERS製の高性能プラズマアッシャーシステムです。研究とプロセス統合のために特別に設計された、反応イオンエッチング（RIE）だけでなく、様々な基板上の厚くて薄いフィルムのアッシングと洗浄が可能です。このシステムは、独自のInductively Coupled Plasma （ICP）ソースを使用しており、O2、 SF6、 CF4、 Arプラズマエッチングなどの多くのプロセスが可能です。ICPソースは、安定性とプロセスの柔軟性を向上させ、プロセスパラメータをより正確に制御し、優れた洗浄とエッチング結果をもたらします。BAF 400を構成するコンポーネントは完全に統合されており、一緒に動作するように設計されており、信頼性と再現性を提供します。このシステムには、パラメータ制御用のコントローラと、チャンバー圧力が一定の限界を超えると自動的にプラズマを遮断する真空インターロックが装備されています。さらに、BALZERS BAF 400は、185°Cまでの温度でのエッチングが可能な高温エッチング機能を備えています。エッチング工程では、圧力、RF電力、ガス流量などの複数のプロセスパラメータを調整できます。チャンバーには、プロセスガスの迅速で均一な投与量を可能にするガス管理用の入口と出口が装備されています。チャンバーを外部真空ポンプに接続して、反応ガスの効率的な排気を行うこともできます。BAF 400には、-20〜+100°Cの温度範囲の加熱されたシャワープレートが取り付けられており、安全で信頼性の高い処理が可能です。コンフォーマルコーティング機能が含まれており、サンプルに均一なコーティングが可能です。BALZERS BAF 400は、精密な制御パラメータと多目的な機能を備え、研究開発およびプロセス統合アプリケーション向けの優れたエッチングソリューションです。その信頼性と高いエッチング品質により、あらゆるラボや生産環境に貴重な付加価値をもたらします。