中古 BAL-TEC BAF060 #9247281 を販売中

BAL-TEC BAF060は、半導体業界の精密エッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。より大きなウエハエリアで高いエッチング率、均一性、および選択性を提供します。このマシンは、最も要求の厳しいプロセス要件に最大3ミクロン以下のエッチング選択性を提供することができ、最先端の半導体製品のための高度なアーキテクチャの製造を可能にします。BAF060に正確さおよび再現性を保障する3軸の動きの設計があります。各軸は最大1。5mで、高精度のリニアドライブモータによって駆動され、非常に短いサイクルタイムを実現します。装置には、ユニット全体を監視し、エッチング/アッシングプロセスを制御するマルチレベル監視システムが装備されています。BAL-TEC BAF060には、レシピとレシピ情報を保存するコンピュータも内蔵されており、エッチング/アッシングプロセスを特定の要件に合わせて調整することができます。これは、太陽光発電やMEMSなどの先進的な半導体構造の生産に特に有益です。内蔵コンピュータはまた、プロセスが正しく進行していることを確認するために、常にマシンを監視する「リアルタイム」コントロールセンターとして機能します。BAF060には、エッチングチャンバーに供給できるさまざまなプロセスガスが装備されており、正確なエッチングとアッシングのためのプロセスガスの完全な範囲を提供します。ガスは閉じたループツールで供給され、エッチングチャンバー内のプロセスガスとプリスティン環境の均一な流れが保証されます。これにより、BAL-TEC BAF060は、シングルエッチングとアッシングプロセスの両方で最適な結果を提供することができます。BAF060のプロセスは非常にユーザーフレンドリーで、ユーザーによる自動化と監視が可能です。ユーザーはプロセス全体を段階的に監視し、必要に応じてアセットに手動コマンドを与えることができます。これにより、迅速な校正、診断、プロセスの最適化が可能になります。全体的に、BAL-TEC BAF060は精密エッチングおよびアッシングプロセスのための非常に洗練された信頼性の高いツールです。均一なエッチング速度、再現性、選択性を提供し、大面積の半導体構造に適しています。さらに、ユーザーフレンドリーなプロセスと数多くの運用上の利点により、BAF060は半導体産業において非常に貴重な資産となります。