中古 AXIC PlasMaster #9124358 を販売中

ID: 9124358
ウェーハサイズ: 8"
RIE system, 8" Manual load system Non-load lock Computer control CRT and keyboard SST chamber 12” Water cooled electrode (4) MFCs,balzers turbo pump Leybold mechanical pump AE RFX 600 power supply with auto matching network Laser endpoint detection Bay voltex water chiller.
AXIC PlasMasterは、コンピュータ制御のプロセス技術を通じて、ほとんどの金属、セラミックス、およびガラスを工具、エッチング、および灰にするように設計された精密エッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、マイクロエレクトロニクス、医療機器、MEMS、フォトニクスなど、幅広い用途に最適です。このユニットは、エッチングおよびアッシングプロセスの精度、速度、信頼性を向上させるように設計されています。PlasMasterは、エッチングおよびアッシングプロセスに必要な圧力を均等に適用する真空機械を使用して、最適な均一性を保証します。また、最高の精度のために、高速応答時間を特徴とする温度制御ツールを内蔵しています。アセットには、高出力の連続スイッチパルス発生器が装備されており、エッチングおよびアッシングプロセスの速度と正確な制御を提供します。AXIC PlasMasterは、このジェネレータを使用して、複雑なパターンを高精度でエッチングまたはアッシュすることができます。エッチングとアッシングのプロセスは、環境から隔離された囲まれた容器内で行われ、安全性の余分な層を追加します。PlasMasterの直感的な制御ソフトウェアにより、エッチングとアッシングパラメータを簡単に設定し、プロセスを迅速にシミュレートできます。選択したパラメータが画面に表示され、プロセスの精度が保証されます。また、記録およびアーカイブ操作のためのプロセスのトレーサビリティも提供します。さらに、制御ソフトウェアは、各アプリケーションのエッチングおよびアッシュ処理を最適化するためのパラメータ最適化機能を提供します。AXIC PlasMasterは安全性を考慮して設計されています。密閉された容器の設計はプロセスに入る汚染物の危険を除去します、不活性ガスの大気はワークとの反作用を最小にするために働きます。このモデルには、危険物や温度のオペレータに警告するための安全シールドと警告警告装置も含まれています。全体的に、PlasMasterは、エッチングとアッシングのニーズに優れた選択肢です。システムの正確な制御と均一なエッチングとアッシング機能により、精密クリティカルなアプリケーションに最適です。直感的な制御ソフトウェアは、パラメータの簡単な設定とプロセスの最適化を可能にします、ユニットの安全機能は、動作中のユーザーの安全性を確保しながら、。
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