中古 AXIC Multimode HF-8 #9171691 を販売中

AXICマルチモードHF-8は、高周波回路製造のアプリケーション向けに設計された最新のエッチャー/アッシャーです。このHF-8は、最も複雑な微細加工プロセスでも、高速で均一なエッチングとアッシング時間を提供します。この装置は550W高周波誘導源システムを使用し、直径8インチまでの基板を処理します。誘導源とチャンバの設計により、プロセスの均一性と再現性が向上します。HF-8はまた、時間ベースの正確なエッチングとアッシングのプロセスを可能にするデジタルエンジンを備えています。デジタルエンジンには、目標値の2°C以内に正確な温度制御を行うため±プログラム可能な温度制御ユニットが含まれています。これにより、さまざまなプロセスレシピで一貫した結果が得られ、信頼性の高いデバイスのパフォーマンスが保証されます。このマシンはまた、エッチャー/アッシャーとレシピ管理ソフトウェア間の通信を提供し、プロセスレシピの簡単なカスタマイズと選択を可能にします。このHF-8には、エッチングおよびアッシングガスの効率的な配送のためのRVFガス配送ツール、および超純粋な前駆体および製品除去のためのDI/UPWチャンバーが装備されています。N2キャリアガスもプロセスチャンバーから完全に分離されているため、外部キャリアガスの供給が不要です。アセットには、プロセスデータを監視および表示するための完全にコンピュータ化されたタッチスクリーンインターフェイスが含まれています。付属のグラフィカルソフトウェアにより、ユーザーは視覚的にエッチング/アッシングのレシピを監視および制御できます。リアルタイムプロセスモニタにより、用途やレシピの記録とロギングが可能で、異なるプロセス結果を簡単に分析および比較できます。マルチモードHF-8は、精密な高周波回路製造に理想的なモデルであり、プロセス制御、均一な結果、従来のエッチングおよびアッシングプロセスよりも高い柔軟性を提供します。