中古 AXIC Multimode HF-8 #60542 を販売中

AXIC Multimode HF-8は、さまざまな研究およびエンジニアリングアプリケーションで使用される最先端のエッチャーおよびアッシャーです。直径8インチまでのウェーハのエッチング、アッシング、リソグラフィ用に設計されています。このデバイスは、優れたプロセス品質と信頼性で高いスループットを提供するため、産業および研究用途に最適です。この装置は、反応イオンエッチング（RIE）技術に基づいており、真空チャンバーと多数の補助部品を備えています。ベースシステムは、真空チャンバー、RF発電機、制御ユニット、エッチング/拡散ソースで構成されています。標準サンプルサイズは150x150x0。25 mmで、デバイスはほとんどの種類のプラスチック、金属、石英基板と互換性があります。さらに、最大1ミクロンの小さなフィーチャーサイズのエッチングやアッシャー基板も可能です。Multimode HF-8の主な構成要素には、誘導結合プラズマ（ICP）、反応イオンエッチング（RIE）、レーザーアブレーション源など、いくつかの異なる種類のプラズマ源が含まれます。これらのソースは、さまざまなアプリケーションのカスタムプロセスを可能にするために、さまざまなエッチングおよび拡散プロセスを提供します。AXICマルチモードHF-8では、構造のエッチング、上層および中間層のリソグラフィ、拡散およびイオン注入が可能です。このデバイスには、過熱保護やガス漏れ検出など、いくつかの安全機能が付属しています。また、コンピュータ制御装置を搭載しており、プロセス制御の自動化と微調整が可能です。ソフトウェアパッケージは、エッチングとリソグラフィーのレシピをカスタマイズできるため、プロセスの柔軟性が向上します。マルチモードHF-8は、エッチング、アッシング、リソグラフィのための強力で汎用性の高いツールを提供しています。高度なプラズマソース、信頼性の高い制御ツール、さまざまな安全機能により、高速で信頼性の高い処理を提供し、優れたプロセス品質を提供します。それは産業および研究の適用のために適しています、市場で利用できる最もよいエッチャーおよびasherの1つにします。