中古 AXIC Multimode HF-8 #107384 を販売中

AXICマルチモードHF-8は、シリコンベース材料の厳しい要件を満たすように設計されたポリイミドエッチング/アッシャーです。無線周波数、プラズマ、リアクティブイオンエッチング（RIE）プロセスを組み合わせて、エッチング選択性と高エッチング率を実現します。このマルチモードエッチング/アッシャーは、優れた品質で高速で均一で信頼性の高いプロセスを提供することができます。この装置は、均一なプラズマとRIEプロセスを提供し、エッチング化学および基板材料の幅広い選択を提供します。NF-8のスキャンシステムと精密機械工程では、最小限の工程でさまざまな材料と深さをエッチングすることも可能です。同等に効率的な排気ユニットは、より信頼性の高いプロセスのための優れた洗浄と粒子制御を提供します。高性能の自動ローディングおよび荷を下す機械は総サイクル時間を最小にし、生産性を改善します。NF-8のプラズマおよびRIEプロセスに加えて、このツールはインプロセスエンドポイント（EP）モニタも提供します。この機能により、エッチャーはエッチング処理の正確な完了を検出し、費用のかかる過剰エッチングを防ぐことができます。Multimode HF-8は、XeF2、 Ar/O2、 CHF3、 SF6、 SiH4などのさまざまなRIE化学薬品だけでなく、オゾン化エッチング化学品も幅広く提供しています。このモデルの他の機能には、統合冷却装置、グラフィックユーザインタフェース、完全自動排気システムがあります。AXIC Multimode HF-8は、エッチングパラメータの広範囲にわたる再現性と信頼性の高いエッチング性能をユーザーに提供します。また、シンプルなユーザーインターフェイスと自動化された設定により、処理時間を短縮し、複数のエッチングサイクルにわたって高い精度と一貫性を促進します。全体的に、マルチモードHF-8は非常に汎用性の高いエッチャーとアッシャーであり、高速で正確で信頼性の高いエッチング結果を必要とするあらゆるアプリケーションに使用できます。AXIC Multimode HF-8は、信頼性の高いパフォーマンス、優れた汎用性、使いやすさにより、マルチレベル集積回路のエッチングからパッケージングおよびMEMSまで、幅広いアプリケーションに最適です。