中古 AXIC HF-8 #9124396 を販売中

AXIC HF-8は、半導体業界で使用するために設計されたエッチャーおよびアッシャーです。プラズマエッチング、酸化、ドーパント拡散、材料表面エッチングなどの用途に適しています。5-Zone熱質量流量制御、in-situオゾンモニター、内蔵インターフェイスを備えています。断熱エッチングチャンバーはステンレス製で、潜在的な汚染を防ぐために自己内蔵されています。チャンバーにはダイヤモンドプラズマ源が装備されており、最大のアーク安定性と均一なプラズマ分布を提供します。自動化されたクォーツロードロックチャンバーも付属しており、基板の入出力を制御できます。AXIC HF8は熱急速な均等性および均一なプロセス深さを含むプロセスパラメータの広い範囲を提供します。これらのパラメータは、用途に応じて最適な結果を得るために調整することができ、再現性とプロセス歩留まりの向上を保証します。in-situオゾンモニターは、最適なプロセス環境を維持するためにオゾンの計量と除去の自動制御を可能にします。このユニットには内蔵のインターフェイスがあり、操作者がプロセスパラメータを正確に調整できる使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。さまざまなレシピストレージ機能とデータロギング機能も含まれています。HF-8システムをリモートコンピュータに接続することで、便利なデータ転送が可能になり、プロセスパラメータの監視と分析が可能になります。HF8は、半導体、太陽電池、医療機器製造など、さまざまな産業で使用できる汎用性の高いシステムです。そのサイズと効率的な設計により、排ガス量が少ないため、クリーンルーム環境に適しています。システムの自動化された操作と組み込みインターフェイスは、再現性、精度、信頼性の高いプロセス結果を確実にするのに役立ちます。