中古 AXCELIS Integra #9293674 を販売中
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AXCELIS Integraは、複雑な集積回路の製造用に設計されたエッチング/アッシング装置です。高い再現性を提供する実績のあるABAXIS設計に基づいています。このシステムは、プロセスチャンバー、リアクター、検出器、エッチング/アッシングプロセスヘッドの4つの主要コンポーネントで構成されています。プロセスチャンバーは、エッチング/アッシングユニットの成分を含む温度および大気制御チャンバーです。エッチング/アッシングプロセスの制御環境を提供し、温度、圧力、およびプロセスが最適に管理されるように設計されています。チャンバー自体には、最適化された真空機械と、可能な限り最高のエッチングとアッシングの結果を保証するための自動大気制御ツールが装備されています。この原子炉は、エッチング/アッシングプロセスに必要な集中的で方向性の高いエネルギーを生産する責任があります。電気を帯びた一連の電極が含まれており、エッチング/アッシングに必要な反応を形成します。この原子炉は、特定のエッチング/アッシングプロジェクトに必要なエネルギーの正確な量が生成されるようにカスタム設計されています。この検出器は、プロセスが正しく動作していることを保証するために不可欠なコンポーネントであり、エッチング/アッシングステップごとに必要なパラメータに関するフィードバックを提供するように設計されています。これにより、エッチング/アッシング処理を必要に応じて監視および修正し、可能な限り最良の結果を得ることができます。最後に、エッチング/アッシングプロセスヘッドは、エッチング/アッシングプロセスを実際に実行するための主要なコンポーネントです。一貫して精密なエッチング/アッシング結果を得るように設計されており、高精度ノズルを備えています。これにより、エッチング/アッシング処理が迅速かつ正確に実行されます。Integraは、非常に信頼性が高く、エッチング/アッシングが可能な資産であり、最も複雑な設計の複雑さにも対応できるように設計されています。独自の原子炉は、任意のプロセスに対して正確なエネルギーレベルが生成されることを保証しますが、自動化された大気制御および検出器は、プロセスがスムーズに実行されることを保証します。最後に、エッチング/アッシングプロセスヘッドは均一で正確な結果を出すように設計されており、毎回最高品質の製品が達成されるようにしています。
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