中古 AXCELIS / FUSION WSI #9087726 を販売中

AXCELIS/FUSION WSIは、手動エッチングプロセスと空中エッチング/アッシュシステムの必要性を根絶するように設計された高度なエッチング/アッシュ機器です。FUSION WSIシステムは、深紫外線レーザー、高出力の無線周波数源、ガスと化学物質を組み合わせたユニットを使用しています。この機械はまた、エッチングまたは灰サイクルごとにチャンバーを迅速かつ確実に洗浄するための費用対効果の高い方法のための自動チャンバー洗浄ツールを備えています。この統合アセットは、さまざまな薄膜サイズと形状を実現できる高スループット、高均一性、プロセスソリューションを提供します。このモデルは、GaAs、シリコン、ポリシリコン、SiGe、窒化物など、幅広い材料で正確なパターンを生成することができます。AXCELIS WSI装置は、ガス、液体、プラズマ源など、幅広い材料を駆動しています。このシステムは、精密で繰り返し可能なプロセスレシピを提供することができ、また、エッチングと灰のレシピをプログラミングする際にユーザーに大きな柔軟性を提供します。高電力の無線周波数源は、GaAs、 SiGe、および窒化物材料の正確なプラズマエッチングを提供するために使用されます。ディープUV （DUV）レーザーは、ポリシリコンやGaAsなどの困難な材料を効果的にパターン化してエッチングすることにより、効率的にエッチングレシピを開発するために使用されます。WSIユニットには自動送り装置も装備されており、ユーザーはウェーハをツールに正確に送り込むことができます。フィーダー資産は、非均一性と汚染を防ぐ統合された帯電防止機能を備えています。AXCELIS/FUSION WSIモデルは、幅広いエッチングおよび灰プロセスに高精度を提供するプロセス制御を備えています。装置はまたユーザーがすぐにそして効果的に調理法の間で動力を与え、上がることを可能にします。パワーダウンとランプアップ機能により、プロセスレシピの突然の変更を防ぎ、結果が悪くなる可能性があります。結論として、FUSION WSIシステムは、幅広い材料に精密なエッチングを提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。自動送り装置、統合された帯電防止装置およびプロセス制御機能によって、機械は高精度および均一性の反復可能なエッチングの調理法を提供することができます。時間を最小限に抑えて、材料や灰を正確にエッチングするための費用対効果の高い効率的な方法を提供します。