中古 AXCELIS / FUSION WSI #9083198 を販売中

AXCELIS/FUSION WSIは、最大300mmウェーハを搭載したウェーハレベル集積回路（IC）のエッチングとアッシュを行うエッチャー/アッシャー装置です。マルチプロセス、マルチチャンバー、マルチレシピ処理機能など、迅速なウェーハ処理を可能にする一連の機能を提供します。FUSION WSIシステムは、エッチングリアクターとアッシャーの2つの主要な要素で構成されています。エッチングリアクターは、誘導結合プラズマ（ICP）とラジカルプラズマの両方を提供し、集積回路パターンをウェーハ表面にエッチングします。ICPエッチングプロセスにより、選択率が非常に低く、シャープで高精細なパターンを作成できます。ICPは、いくつかの層と広い領域で壁アプリケーションをエッチングするためにも使用されます。アッシャーはフッ素系と金属系の両方の灰プロセスを使用することができます。これにより、さまざまなドーパント、その濃度、酸化物をIC上に正確に配置することができ、望ましい電気特性を達成することができます。AXCELIS WSIユニットは、時間を節約するマルチウェーハバッチ処理を可能にします。ウェーハを同時に6個まで処理できるため、高スループット生産が可能です。マシンには直感的なユーザーインターフェイスがあり、マシンのセットアップ作業を簡素化します。自動化ソフトウェアは、ツールが再現可能な結果を達成することを保証し、ユーザーは、目的の最終製品を達成するために、各層のプロセスのパラメータを設定することができます。このアセットは、レシピ管理に関しても柔軟性を提供し、ユーザーはさまざまなプロセスのレシピを保存してリコールすることができます。これにより、複数の実行で結果を簡単に複製でき、バッチ間で一貫したパフォーマンスを確保できます。WSIモデルはまた、プロセス領域から人員を遠ざける自己完結型RFエンクロージャを含む優れた安全機能を提供します。また、メンテナンスを最小限に抑え、高い信頼性と長いシステム寿命を保証するように設計されています。全体として、AXCELIS/FUSION WSIユニットは、ウェハレベルの集積回路のエッチングと灰のための高精度で信頼性の高い結果を提供します。非常に汎用性が高く信頼性の高いマシンで、ユーザーの迅速なセットアップ時間、高いスループット、繰り返し可能な結果、プロセスを正確に制御できます。