中古 AXCELIS / FUSION Rapidstrip #293632719 を販売中

AXCELIS/FUSION Rapidstripは、さまざまな半導体アプリケーション向けに特別に設計されたエッチャーおよびアッシャーです。業界をリードするエッチング率と優れた表面平坦性を競争力のある価格で提供するように設計されています。この装置は200と300mmの両方のウェーハを処理するために構築されており、精度と精度を最大限に発揮します。エッチング/アッシングチャンバーは、真の平行プレートエッチング機能を備えており、柔軟性とプロセス制御を強化します。チャンバーは、5 × 10-7 Paの優れたベースプレッシャーで動作可能な高圧ターボ分子ポンプによって駆動され、最大20リットル/秒のポンピング速度を発揮します。プロセスガスバルブ設計には、6つの独立して組み合わされたガス出力が組み込まれており、最大ガスフローは85標準リットル/分です。プロセス制御の面では、FUSION Rapidstripは、最大エッチング速度0-550Wの5A/minの調整可能な電力制御範囲を備えており、レシピファイルは最大32Kの要因をメモリに格納することができます。ウェーハ全体の均一性プロファイルは、3％偏差内でフラットであり、総厚さ均一性は4-7％です。材料の版、焦点リングおよび点火器はすべてステンレス鋼から組み立てられ、エッチャーおよびasherを非常に耐久および信頼できる作ります。また、環境保護のための窒素/酸素機能を備えた最適な性能のための冷却/クリーニングシステムを内蔵しています。AXCELIS Rapidstripは、有機、無機、金属含有材料、各種基板、各種サイズに対応しています。また、最も深い溝と最も小さなビアのエッチングを可能にし、半導体業界で受け入れられる最高水準の品質を満たしています。要するに、Rapidstripは非常に強力で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーであり、半導体顧客の最も複雑な要件を満たすことができます。