中古 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9329249 を販売中

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320は、薄膜を効果的に剥離し、サブミクロンサイズまでの高精度、高アスペクト比の構造を生成するように設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。これは、高度なナノスケールの集積回路、オプトエレクトロニクス、マイクロ波/RFデバイスの製造における高精度プロセスのために設計されています。FUSION RapidStrip 320システムは、柔軟性と顧客の要求とプロセスの変化に対応する高度なモジュール設計を備えています。このユニットには、高圧化学供給機と剥離されたアプリケーションや材料によって異なる化学物質を処理する能力が含まれています。このツールは、空気または高圧化学フラックスを使用して基板を洗浄します。アセットは非常に効率的で、エッチング後に余分な材料を最小限に抑えながら、毎分2枚のウェーハを剥離することができます。また、プロセスパラメータの正確な監視を可能にする広い視野を持つ高解像度CCDカメラを備えています。これにより、ユーザーは各エッチングプロセスの進行状況を監視することができます。AXCELIS RapidStrip 320モデルは信頼性が高く、高電圧スイッチボードや複数のフェイルセーフ真空チャンバなど、複数の冗長性を備えています。オンボードコンピュータと制御装置により、プロセスパラメータを正確に監視および制御できます。また、キャリブレーションとテストを内蔵しており、重要なプロセスパラメータを自動的かつ信頼性の高いメンテナンスが可能です。このシステムは、プロセスの変更に柔軟性を提供し、温度、エッチング速度、ガスフロー、電力レベルなどのエッチングプロセスパラメータを構成します。オンボードソフトウェアにより、プロセスパラメータを完全に制御できます。RapidStrip 320ユニットを使用すると、処理時間とスループットを簡単に調整できます。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320マシンは使いやすく、信頼性が高く、費用対効果に優れています。先進的な設計、柔軟性、高精度の結果により、高度なナノスケールの集積回路、オプトエレクトロニクス、マイクロ波/RFデバイスの処理に最適なツールです。